Silisyum Karbür Gofret Aynası

Çin'deki Silisyum Karbür Gofret Aynası ürünlerinin lider üreticisi ve tedarikçisi olan VeTek Semiconductor'ın Silisyum Karbür Gofret Aynası, mükemmel yüksek sıcaklık direnci, kimyasal korozyon direnci ve termal şok direnciyle epitaksiyel büyüme sürecinde yeri doldurulamaz bir rol oynuyor. Daha fazla istişarenize hoş geldiniz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

VeTek Yarı İletken Silisyum Karbür Gofret Chuck, özellikle son derece yüksek hassasiyet ve güvenilirlik gerektiren yarı iletken işlemede, yarı iletken üretiminin katı gereksinimlerini karşılamak için Silisyum Karbür malzemelerin mükemmel özelliklerini kullanır.

Yarı iletken işleme sürecinde,Silisyum Karbürmükemmel yüksek sıcaklık direncine sahiptir (1400°C'ye kadar stabil çalışabilir), düşük iletkenliğe sahiptir (SiC nispeten düşük bir iletkenliğe sahiptir, tipik olarak 10^^-3S/m) ve düşük termal genleşme katsayısı (yaklaşık 4,0 × 10^)^-6/°C), vazgeçilmez ve önemli bir malzeme olan, özellikle Silisyum Karbür Gofret Aynası imalatına uygun bir malzemedir.

sırasındaepitaksiyel büyüme süreci, bir alt tabaka üzerinde ince bir yarı iletken malzeme tabakası biriktirilir; bu, düzgün ve yüksek kaliteli film biriktirme katmanları sağlamak için levhadan mutlak stabilite gerektirir. SiC Vakum Aynası bunu, levhanın herhangi bir hareketini veya deformasyonunu önlemek için sağlam, tutarlı bir vakum tutuşu oluşturarak başarır.

Silisyum Karbür Gofret Aynası ayrıca termal şoka karşı mükemmel direnç sunar. Yarı iletken üretiminde hızlı sıcaklık değişiklikleri yaygındır ve bu dalgalanmalara dayanamayan malzemeler çatlayabilir, bükülebilir veya arızalanabilir. Silisyum karbür, düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir ve şiddetli sıcaklık değişimleri altında bile şeklini ve işlevini koruyabilmektedir; böylece levhanın epitaksi işlemi sırasında hareket etmeden veya yanlış hizalama olmadan güvenli kalmasını sağlar.

Üstelik,epitaksi sürecigenellikle reaktif gazlar ve diğer aşındırıcı kimyasalları içerir. SiC Wafer Chuck'ın kimyasal inertliği, bu zorlu ortamlardan etkilenmemesini sağlayarak performansını korur ve servis ömrünü uzatır. Bu kimyasal dayanıklılık yalnızca Wafer Chuck'ın değiştirilme sıklığını azaltmakla kalmaz, aynı zamanda çoklu üretim döngüleri boyunca tutarlı ürün performansı sağlayarak yarı iletken üretim sürecinin genel verimliliğini ve maliyet etkinliğini artırmaya yardımcı olur.

VeTek Semiconductor, Çin'deki Silikon Karbür Gofret Chuck ürünlerinin lider üreticisi ve tedarikçisidir. Gibi çeşitli Chuck ürünleri sağlayabilirizGözenekli SiC Seramik Ayna, Gözenekli SiC Vakum Chuck, Gözenekli Seramik Vakum ChuckVeTaC Kaplamalı AynaVeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kendini adamıştır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle umuyoruz.

SEM VERİLERİ CVDSIC FİLM KRİSTAL YAPISI：

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE