VeTek Semiconductor, Silikon Nitrür üretimine odaklanmaktadır ve kıdemli uzmanlardan ve üst düzey teknik yeteneklerden oluşan bir araştırma ve geliştirme ekibine sahiptir. Silisyum nitrür seramikleri, genel seramik malzemelerin sertlik, ısı direnci, aşınma direnci ve korozyon direnci avantajlarına sahiptir ve iyi termal şok direnci, yüksek sıcaklıkta sürünme direnci, iyi kendi kendine yağlama ve iyi kimyasal stabilite avantajlarına sahiptir ve yaygın olarak kullanılmaktadır. yeni enerji, kimya endüstrisi, havacılık ve yarı iletken alanlarında kullanılmaktadır.
1. Mükemmel kimyasal stabilite
Silisyum nitrür seramikleri mükemmel kimyasal stabiliteye sahiptir ve çeşitli güçlü asitlere, alkalilere ve aşındırıcı gazlara dayanabilir. Yarı iletken üretim sürecinde sıklıkla aşındırıcı kimyasallarla uğraşmak gerektiğinden, Silikon nitrür seramikleri uzun vadeli istikrarlı performans garantisi sağlayabilir.
2. Mükemmel mekanik özellikler
Silisyum nitrür seramikleri yüksek sertliğe, mükemmel basınç dayanımına ve aşınma direncine sahiptir, mekanik strese ve yüzey aşınmasına dayanabilir, deformasyonu veya kopması kolay değildir. Bu mekanik özellik, onu yarı iletken ekipmanlardaki yapısal ve proses parçalar için bir malzeme olarak çok uygun hale getirir.
3. Yüksek sıcaklık kararlılığı
Silisyum nitrür seramikleri, yüksek sıcaklıktaki ortamlarda stabiliteyi koruyabilir, yumuşatılması veya eritilmesi kolay değildir ve yarı iletken üretim sürecinde yüksek sıcaklıkta işleme ve işlemeye dayanabilir. Bu, tutucular, reaksiyon odası bileşenleri vb. gibi yüksek sıcaklıklı proses ekipmanı ana bileşenlerinin imalatında kullanılmasına olanak tanır.
4. Mükemmel yalıtım özellikleri
Yalıtım özellikleri yarı iletken cihaz üretiminde kritik öneme sahiptir. Silisyum nitrür seramikleri, devre bileşenlerini akım sızıntısından veya elektromanyetik girişimden etkili bir şekilde izole edebilen ve koruyabilen, cihazın stabilitesini ve güvenilirliğini artırmaya yardımcı olan iyi yalıtım özelliklerine sahiptir.
5. Isıl iletkenlik ve ısıl iletkenlik
Silisyum nitrür seramikleri yüksek bir termal iletkenliğe sahiptir, cihaz tarafından üretilen ısıyı etkili bir şekilde iletebilir ve dağıtabilir, çalışma sürecinde cihazın sıcaklık stabilitesinin korunmasına yardımcı olur. Bu, yarı iletken cihazların yüksek performanslı çalışması için kritik öneme sahiptir.
1. Elektrostatik aynalar ve dağlama odası bileşenleri
Silisyum nitrür seramikleri, mükemmel kimyasal stabiliteleri ve yüksek sıcaklık dirençleri nedeniyle, yarı iletken üretiminde elektrostatik aynalar ve aşındırma odası bileşenleri için malzeme olarak sıklıkla kullanılır. Elektrostatik aynalar levhaları veya alt tabakaları sabitlemek ve stabilize etmek için kullanılırken, aşındırma odası bileşenleri aşındırıcı gazlara ve yüksek sıcaklıktaki ortamlara dayanmak için kullanılır.
2. Gaz dağıtım plakaları ve reflektörler
Silikon nitrür seramikleri aynı zamanda gaz dağıtım plakaları ve reflektörlerdeki yarı iletken ekipmanların imalatında da kullanılmaktadır. Gaz dağıtım plakaları, reaktif veya koruyucu gazları reaksiyon odasına eşit şekilde dağıtmak için kullanılırken, reflektörler, reaksiyon verimliliğini ve homojenliği artırmak amacıyla ışığın reaksiyon odası içindeki dağılımını ve yansımasını optimize etmek için kullanılır.
3. Tutucular ve termal bileşenler
Silisyum nitrür seramikleri genellikle yarı iletken üretim ekipmanlarında tutucular ve termal yönetim bileşenleri olarak kullanılır. Ekipmanın istikrarlı çalışmasını ve cihazın işleme doğruluğunu sağlamak için bu bileşenlerin iyi bir mekanik mukavemete, aşınma direncine ve termal iletkenliğe sahip olması gerekir.
4. Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP) pedleri
Silisyum Nitrür seramik, Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP) işleminde ped malzemesi olarak yaygın şekilde kullanılır. Mükemmel düzlüğe ve aşınma direncine sahiptir ve yarı iletken levha yüzeyinin düzlüğünü ve hassasiyetini sağlamak için parlatma işlemi sırasında istikrarlı destek sağlayabilir.