> Ürünler > Silisyum Karbür Kaplama > Silisyum Karbür Epitaksi

Ürünler

yeni ürünler

Çin Silisyum Karbür Epitaksi Üretici, Tedarikçi, Fabrika

Yüksek kaliteli silisyum karbür epitaksinin hazırlanması ileri teknolojiye ve ekipman ve ekipman aksesuarlarına bağlıdır. Şu anda en yaygın kullanılan silisyum karbür epitaksi büyütme yöntemi Kimyasal buhar biriktirmedir (CVD). Epitaksiyel film kalınlığı ve doping konsantrasyonunun hassas kontrolü, daha az kusur, orta büyüme hızı, otomatik proses kontrolü vb. gibi avantajlara sahiptir ve ticari olarak başarıyla uygulanan güvenilir bir teknolojidir.

Silisyum karbür CVD epitaksi genellikle, yıllar süren geliştirmeden sonra yüksek büyüme sıcaklığı koşulları (1500 ~ 1700 ° C), sıcak duvar veya sıcak duvar CVD'si altında epitaksi katmanı 4H kristalin SiC'nin devamını sağlayan sıcak duvar veya sıcak duvar CVD ekipmanını benimser. Giriş hava akış yönü ile alt tabaka yüzeyi arasındaki ilişki, Reaksiyon odası, yatay yapı reaktörü ve dikey yapı reaktörüne bölünebilir.

SIC epitaksiyel fırının kalitesi için üç ana gösterge vardır; ilki, kalınlık tekdüzeliği, doping tekdüzeliği, kusur oranı ve büyüme oranı dahil olmak üzere epitaksiyel büyüme performansıdır; İkincisi, ısıtma/soğutma oranı, maksimum sıcaklık, sıcaklık eşitliği dahil olmak üzere ekipmanın kendisinin sıcaklık performansıdır; Son olarak, tek bir ünitenin fiyatı ve kapasitesi de dahil olmak üzere ekipmanın maliyet performansı.

Üç çeşit silisyum karbür epitaksiyel büyüme fırını ve çekirdek aksesuarları farklılıkları

Sıcak duvar yatay CVD (LPE şirketinin tipik modeli PE1O6), sıcak duvar planet CVD (tipik model Aixtron G5WWC/G10) ve yarı sıcak duvar CVD (Nuflare şirketinin EPIREVOS6 tarafından temsil edilir) gerçekleştirilen ana epitaksiyel ekipman teknik çözümleridir. Bu aşamada ticari uygulamalarda. Üç teknik cihazın da kendine has özellikleri vardır ve talebe göre seçilebilir. Yapıları şu şekilde gösterilmektedir:

İlgili temel bileşenler aşağıdaki gibidir:

(a) Sıcak duvar yatay tip çekirdek kısmı - Yarım Ay Parçalarından oluşur

Aşağı akış yalıtımı

Ana yalıtım üst kısmı

Üst yarım ay

Giriş yalıtımı

Geçiş parçası 2

Geçiş parçası 1

Harici hava memesi

Konik şnorkel

Dış argon gazı memesi

Argon gazı memesi

Gofret destek plakası

Merkezleme pimi

Merkezi koruma

Aşağı akış sol koruma kapağı

Aşağı akış sağ koruma kapağı

Giriş sol koruma kapağı

Giriş sağ koruma kapağı

Yan duvar

Grafit halkası

Koruyucu keçe

Destekleyici keçe

İletişim bloğu

Gaz çıkış silindiri

(b)Sıcak duvar planet tipi

SiC kaplama Planet Disk &TaC kaplı Planet Disk

Nuflare (Japonya): Bu şirket, üretim veriminin artmasına katkıda bulunan çift odacıklı dikey fırınlar sunmaktadır. Ekipman, dakikada 1000 devire kadar yüksek hızlı dönüş özelliğine sahiptir ve bu, epitaksiyel tekdüzelik açısından son derece faydalıdır. Ek olarak, hava akış yönü diğer ekipmanlardan farklıdır; dikey olarak aşağıya doğru olduğundan partikül oluşumunu en aza indirir ve partikül damlacıklarının levhaların üzerine düşme olasılığını azaltır. Bu ekipman için çekirdek SiC kaplı grafit bileşenleri sağlıyoruz.

SiC epitaksiyel ekipman bileşenleri tedarikçisi olarak VeTek Semiconductor, SiC epitaksisinin başarılı bir şekilde uygulanmasını desteklemek için müşterilerine yüksek kaliteli kaplama bileşenleri sağlamaya kendini adamıştır.

View as

SiC kaplı Gofret Tutucu

VeTek Semiconductor, Çin'deki SiC kaplı levha tutucu ürünlerinin profesyonel üreticisi ve lideridir. SiC kaplı levha tutucu, yarı iletken işlemede epitaksi işlemi için kullanılan bir levha tutucudur. Plakayı stabilize eden ve epitaksiyel tabakanın düzgün bir şekilde büyümesini sağlayan yeri doldurulamaz bir cihazdır. Daha fazla istişarenize hoş geldiniz.

Devamını oku Talep Gönder

Epi gofret tutucu

VeTek Semiconductor, Çin'de profesyonel bir Epi Gofret Tutucu üreticisi ve fabrikasıdır. Epi Wafer Holder, yarı iletken işlemede epitaksi işlemine yönelik bir wafer tutucudur. Bu, levhayı stabilize etmek ve epitaksiyel katmanın düzgün bir şekilde büyümesini sağlamak için önemli bir araçtır. MOCVD ve LPCVD gibi epitaksi ekipmanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır. Epitaksi işleminde vazgeçilmez bir cihazdır. Daha fazla istişarenize hoş geldiniz.

Devamını oku Talep Gönder

Aixtron Uydu gofret taşıyıcısı

Çin'de profesyonel bir Aixtron Uydu Wafer Taşıyıcı ürün üreticisi ve yenilikçisi olan VeTek Semiconductor'ın Aixtron Uydu Wafer Taşıyıcısı, AIXTRON ekipmanlarında kullanılan, çoğunlukla yarı iletken işlemede MOCVD proseslerinde kullanılan bir wafer taşıyıcıdır ve özellikle yüksek sıcaklık ve yüksek hassasiyet için uygundur. yarı iletken işleme süreçleri. Taşıyıcı, katman biriktirme işlemi için gerekli olan MOCVD epitaksiyel büyümesi sırasında stabil levha desteği ve düzgün film birikimi sağlayabilir. Daha fazla istişarenize hoş geldiniz.

Devamını oku Talep Gönder

LPE Halfmoon SiC EPI Reaktörü

VeTek Semiconductor, Çin'de profesyonel bir LPE Halfmoon SiC EPI Reaktörü ürün üreticisi, yenilikçi ve liderdir. LPE Halfmoon SiC EPI Reaktörü, esas olarak yarı iletken endüstrisinde kullanılan yüksek kaliteli silisyum karbür (SiC) epitaksiyel katmanları üretmek için özel olarak tasarlanmış bir cihazdır. VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için lider teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kendini adamıştır ve sorularınızı memnuniyetle karşılar.

Devamını oku Talep Gönder

CVD SiC Kaplamalı Tavan

Çin'de profesyonel bir CVD SiC kaplı tavan üreticisi ve tedarikçisi olan VeTek Semiconductor'ın CVD SiC kaplı tavanı, yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, yüksek sertlik ve düşük termal genleşme katsayısı gibi mükemmel özelliklere sahiptir ve bu da onu yarı iletken üretiminde ideal bir malzeme seçimi haline getirir. Sizinle daha fazla işbirliği yapmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Devamını oku Talep Gönder

CVD SiC Grafit Silindir

Vetek Semiconductor'ın CVD SiC Grafit Silindiri, yarı iletken ekipmanlarda çok önemlidir ve yüksek sıcaklık ve basınç ayarlarında dahili bileşenleri korumak için reaktörlerde koruyucu bir kalkan görevi görür. Ekipmanın bütünlüğünü koruyarak kimyasallara ve aşırı ısıya karşı etkili bir koruma sağlar. Olağanüstü aşınma ve korozyon direnciyle zorlu ortamlarda uzun ömür ve stabilite sağlar. Bu kapakların kullanılması yarı iletken cihaz performansını artırır, ömrünü uzatır ve bakım gereksinimlerini ve hasar risklerini azaltır. Bize hoş geldiniz.

Devamını oku Talep Gönder

<1 2 3 >

Çin'de profesyonel bir Silisyum Karbür Epitaksi üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız bulunmaktadır. Bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız varsa veya Çin malı gelişmiş ve dayanıklı Silisyum Karbür Epitaksi satın almak istiyorsanız, bize mesaj bırakabilirsiniz.