silisyum karbür seramik kaplama ısıtıcısı

VeTek Yarı İletkenSilisyum Karbür Seramik Kaplama Isıtıcı, yüksek sıcaklık ve zorlu ortamlar için tasarlanmış bir ısıtıcıdır. Ekipmana mükemmel ısı direnci, korozyon direnci ve termal iletkenlik kazandırmak için ısıtma elemanının yüzeyine bir silikon karbon seramik kaplama (SiC) tabakası kaplar. 

Silisyum karbür seramik kaplama ısıtıcısıesas olarak vakumlu kaplama (buharlaştırma) ekipmanlarında kullanılır. Yaygın olarak kullanılan yöntemler, yarı iletken üretiminde ve diğer yüksek talep gören endüstriyel uygulamalarda yaygın olarak kullanılan PCD (Plazma Kimyasal Kurutma) ve PVD'dir (Fiziksel buhar biriktirme).

Silisyum Karbür Seramik Kaplama Isıtıcının yüksek performanslı kaplama tasarımı ile birleştiğinde,yüksek sıcaklıktaki işlemler için mükemmel bir ısıtma çözümü sağlayabilir.

Mükemmel termal iletkenlik: SiC malzemesinin mükemmel ısı iletkenliği, ısıtıcının çalışma alanında eşit ısı dağılımı elde etmesini ve sıcaklık değişimlerini azaltmasını sağlar.

Eşit ısı dağılımı sağlayın: Silisyum Karbür Seramik Kaplama Isıtıcı, ısıtma alanı boyunca eşit sıcaklık dağılımı elde etmek için SiC malzemenin yüksek ısı iletkenliğini kullanır. Bu, hızlı termal işlem (RTP), difüzyon ve oksidasyon gibi çeşitli yüksek sıcaklıklı işlemlerde yarı iletken levhaların tek tip ısıl işlemini sağlamak ve yerel aşırı ısınmanın veya eşit olmayan sıcaklığın neden olduğu ürün kusurlarını önlemek için kritik öneme sahiptir.

Yüksek sıcaklık toleransı: SiC kaplama, ısıtıcının, çeşitli yüksek sıcaklıktaki işleme süreçlerine uygun, genellikle 1600°C'ye kadar olan son derece yüksek sıcaklıklara dayanmasını sağlar.

Isı direncini artırın: Kaplama aşırı yüksek sıcaklıklara dayanabildiği için uzun süreli yüksek sıcaklıkta çalışma gerektiren proseslerde iyi performans gösterir. Örneğin, kimyasal buhar biriktirme (CVD) proseslerinde Silisyum Karbür Seramik Kaplama Isıtıcı, ekipmanın yüksek sıcaklıklarda uzun süreli stabil çalışmasını sağlayabilir ve tutarlı ısıtma performansını koruyabilir, böylece proses tekrarlanabilirliğini ve güvenilirliğini artırabilir.

Kimyasal korozyon direnci: SiC kaplama asit, alkali ve aşındırıcı gazlara karşı son derece yüksek dirence sahiptir ve karmaşık kimyasal atmosfer ortamında uzun süre stabil kalarak ekipmanın ömrünü uzatır. 

Ekipmanın ömrünü uzatmak: SiC kaplama mükemmel oksidasyon direncine ve korozyon direncine sahiptir ve yüksek sıcaklıklarda kimyasal erozyona ve oksidasyona etkili bir şekilde direnebilir. Bu, özellikle aşındırıcı gazların ve kimyasalların kullanıldığı bir ortamda, yarı iletken üretim sürecinde çok kritiktir. Kaplamanın koruyucu etkisi, ısıtıcının servis ömrünü önemli ölçüde uzatabilir ve ekipman değiştirme sıklığını ve bakım maliyetlerini azaltabilir.

Silisyum karbür seramik kaplama ısıtıcısının temel fiziksel özellikleri:

VeTek Yarı İletken silisyum karbür seramik kaplama ısıtıcı mağazaları:

VeTek yarı iletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: