Gözenekli Tantal Karbür

VeTek yarı iletken Gözenekli Tantal Karbür (TaC), tantal ve karbonun özelliklerini birleştiren yüksek performanslı bir seramik malzemedir. Gözenekli yapısı, yüksek sıcaklık ve zorlu ortamlardaki spesifik uygulamalar için çok uygundur. TaC mükemmel sertliği, termal kararlılığı ve kimyasal direnci bir araya getirerek yarı iletken işlemede ideal bir malzeme seçimi haline gelir.

Gözenekli Tantal Karbür (TaC), tantalın karbon atomlarıyla güçlü bir kimyasal bağ oluşturduğu tantal (Ta) ve karbondan (C) oluşur ve malzemeye son derece yüksek dayanıklılık ve aşınma direnci kazandırır. Gözenekli TaC'nin gözenekli yapısı, malzemenin üretim süreci sırasında oluşturulur ve gözeneklilik, özel uygulama ihtiyaçlarına göre kontrol edilebilir. Bu ürün genellikle tarafından üretilmektedir.kimyasal buhar biriktirme (CVD)gözenek boyutunun ve dağılımının hassas kontrolünü sağlayan yöntem.

Tantal Karbürün moleküler yapısı

VeTek yarı iletken Gözenekli Tantal Karbür (TaC) aşağıdaki ürün özelliklerine sahiptir:

- Gözeneklilik: Gözenekli yapı, gaz difüzyonu, filtreleme veya kontrollü ısı dağıtımı dahil olmak üzere belirli uygulama senaryolarında ona farklı işlevler kazandırır.

- Yüksek erime noktası: Tantal karbür, yaklaşık 3.880°C gibi son derece yüksek bir erime noktasına sahiptir ve bu, son derece yüksek sıcaklıktaki ortamlar için uygundur.

- Mükemmel sertlik: Gözenekli TaC, elmasa benzer şekilde Mohs sertlik ölçeğinde 9-10 civarında son derece yüksek bir sertliğe sahiptir. ve aşırı koşullar altında mekanik aşınmaya dayanabilir.

- Termal stabilite: Tantal Karbür (TaC) malzemesi yüksek sıcaklıktaki ortamlarda stabil kalabilir ve güçlü termal stabiliteye sahip olduğundan yüksek sıcaklıktaki ortamlarda tutarlı performans sağlar.

- Yüksek ısı iletkenliği: Gözenekli olmasına rağmen, Gözenekli Tantal Karbür hala iyi ısı iletkenliğini koruyarak verimli ısı transferi sağlar.

- Düşük termal genleşme katsayısı: Tantal Karbürün (TaC) düşük termal genleşme katsayısı, malzemenin önemli sıcaklık dalgalanmaları altında boyutsal olarak stabil kalmasına yardımcı olur ve termal stresin etkisini azaltır.

TaC kaplamanın fiziksel özellikleri：

Yarı iletken üretiminde Gözenekli Tantal Karbür (TaC) aşağıdaki spesifik anahtar rolü oynar:S:

Yüksek sıcaklık proseslerindeplazma aşındırmave CVD'de VeTek yarı iletken Gözenekli Tantal Karbür genellikle işleme ekipmanı için koruyucu bir kaplama olarak kullanılır. Bu, güçlü korozyon direncinden kaynaklanmaktadır.TaC Kaplamave yüksek sıcaklık stabilitesi. Bu özellikler, reaktif gazlara veya aşırı sıcaklıklara maruz kalan yüzeyleri etkili bir şekilde korumasını ve böylece yüksek sıcaklık işlemlerinin normal reaksiyonunu sağlamasını sağlar.

Difüzyon proseslerinde Gözenekli Tantal Karbür, yüksek sıcaklık proseslerinde malzemelerin karışmasını önlemek için etkili bir difüzyon bariyeri görevi görebilir. Bu özellik genellikle iyon implantasyonu ve yarı iletken levhaların saflık kontrolü gibi işlemlerde katkı maddelerinin difüzyonunu kontrol etmek için kullanılır.

VeTek yarı iletken Gözenekli Tantal Karbürün gözenekli yapısı, hassas gaz akışı kontrolü veya filtreleme gerektiren yarı iletken işleme ortamları için çok uygundur. Bu süreçte Gözenekli TaC esas olarak gaz filtreleme ve dağıtım rolünü oynar. Kimyasal inertliği, filtreleme işlemi sırasında hiçbir kirletici maddenin girmemesini sağlar. Bu, işlenmiş ürünün saflığını etkili bir şekilde garanti eder.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TaC) kaplama: