Silisyum Karbür Seramik Kaplama

Çin'de profesyonel bir Silisyum Karbür Seramik Kaplama üreticisi ve tedarikçisi olan Vetek Semiconductor'ın Silisyum Karbür Seramik Kaplaması, özellikle CVD ve PECVD süreçleri söz konusu olduğunda, yarı iletken üretim ekipmanlarının temel bileşenlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Sorgunuza hoş geldiniz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Vetek Yarıiletken Silisyum Karbür Seramik KaplamaMükemmel kimyasal korozyon direnci ve yüksek sıcaklık stabilitesi sağlayan, son derece sert ve aşınmaya dayanıklı silisyum karbür (SiC) malzemeden yapılmış, yüksek performanslı koruyucu bir kaplamadır. Bu özellikler yarı iletken üretiminde çok önemlidir, bu nedenle Silisyum Karbür Seramik Kaplama, yarı iletken üretim ekipmanlarının temel bileşenlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

Vetek Yarı İletken Silisyum Karbür Seramik Kaplamanın yarı iletken üretiminde oynadığı özel rol:aşağıdaki gibi:

Ekipman dayanıklılığını artırın: Silisyum Karbür Seramik Kaplama, son derece yüksek sertliği ve aşınma direnci ile yarı iletken üretim ekipmanları için mükemmel yüzey koruması sağlar. Özellikle kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve plazma aşındırma gibi yüksek sıcaklıktaki, son derece aşındırıcı proses ortamlarında silisyum karbür seramik kaplama, kimyasal erozyon veya fiziksel aşınma nedeniyle ekipman yüzeyindeki hasarı etkili bir şekilde önleyebilir, böylece hizmet ömrünü önemli ölçüde uzatabilir. ekipmanın sık sık değiştirilmesi ve bakımdan kaynaklanan arıza sürelerinin azaltılması.

Proses saflığını iyileştirin: Yarı iletken üretim sürecinde en ufak bir kirlenme ürün kusurlarına neden olabilir. Silisyum karbür seramik kaplamanın kimyasal inertliği, aşırı koşullar altında stabil kalmasını sağlar, malzemenin parçacık veya yabancı madde salmasını önler ve işlem sırasında ortamın saflığını sağlar. Bu, özellikle PECVD ve iyon implantasyonu gibi yüksek hassasiyet ve yüksek temizlik gerektiren üretim adımları için önemlidir.

Termal yönetimi optimize edin: Hızlı termal işlem (RTP) ve oksidasyon işlemleri gibi yüksek sıcaklıkta yarı iletken işlemlerde, Silisyum Karbür Seramik Kaplamanın yüksek termal iletkenliği, ekipmanın içinde eşit bir sıcaklık dağılımı sağlar. Bu, sıcaklık dalgalanmalarının neden olduğu termal stresi ve malzeme deformasyonunu azaltmaya yardımcı olur, böylece ürün üretim doğruluğunu ve tutarlılığını artırır.

Karmaşık süreç ortamını destekleyin: ICP aşındırma ve PSS aşındırma işlemleri gibi karmaşık atmosfer kontrolü gerektiren işlemlerde, silisyum karbür seramik kaplama ısıtıcısının stabilitesi ve oksidasyon direnci, ekipmanın uzun süreli çalışmada istikrarlı performansını sağlayarak malzeme bozulması veya ekipman riskini azaltır. Çevresel değişiklikler nedeniyle hasar.

Vetek Yarıiletkenyüksek performans üretmeye ve sağlamaya odaklanırSilisyum Karbür Seramik Kaplamave yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sunmaya kendini adamıştır.Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle umuyoruz.

Temel fiziksel özellikleriSilisyum Karbür Seramik Kaplama: