Gözenekli Seramik Vakum Chuck

Çin'de profesyonel bir Gözenekli Seramik Vakum Aynası üreticisi ve tedarikçisi olan Vetek Semiconductor'ın Gözenekli Seramik Vakum Aynası, mükemmel yüksek sıcaklık direncine, kimyasal stabiliteye ve mekanik mukavemete sahip silikon karbür seramik (SiC) malzemeden yapılmıştır. Yarı iletken üretim sürecinde vazgeçilmez bir temel bileşendir. Daha fazla sorunuza hoş geldiniz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Vetek Semiconductor, bu malzemelerin işleme sırasında kaymamasını veya bükülmemesini sağlamak için silikon plakaları veya diğer alt tabakaları vakum adsorpsiyonu ile sabitlemek ve tutmak için kullanılan Çinli bir Gözenekli Seramik Vakum Aynası üreticisidir. Vetek Semiconducto, yüksek saflıkta Gözenekli Seramik Vakumlu Ayna ürünlerini yüksek maliyet performansıyla sunabilmektedir. Soruşturmaya hoş geldiniz.

Vetek Semiconductor, modern yarı iletken üretiminin katı gereksinimlerini karşılamak üzere özel olarak tasarlanmış bir dizi mükemmel Gözenekli Seramik Vakumlu Ayna ürünü sunmaktadır. Bu taşıyıcılar temizlik, düzlük ve özelleştirilebilir gaz yolu konfigürasyonunda mükemmel performans gösterir.

Benzersiz temizlik:

Safsızlığın giderilmesi: Her bir Gözenekli Seramik Vakum Aynası, yabancı maddeleri tamamen gidermek ve yüzeyin yeni kadar temiz olmasını sağlamak için 1200°C'de 1,5 saat sinterlenir.

Vakum paketleme: Temiz durumunu korumak için Gözenekli Seramik Vakumlu Ayna, depolama ve taşıma sırasında kirlenmeyi önlemek amacıyla vakumla paketlenir.

Mükemmel Düzlük:

Katı Gofret Adsorpsiyonu: Gözenekli Seramik Vakum Aynası, levha yerleştirmeden önce ve sonra sırasıyla -60kPa ve -70kPa'lık bir adsorpsiyon kuvvetini korur, levhanın sıkıca adsorbe edilmesini sağlar ve yüksek hızlı iletim sırasında düşmesini önler.

Hassas İşleme: Taşıyıcının arkası tamamen düz bir yüzey sağlamak için hassas bir şekilde işlenmiştir, böylece sabit bir vakum contası korunur ve sızıntı önlenir.

Özelleştirilmiş Tasarım:

Müşteri odaklı: Vetek Semiconductor, verimliliği ve performansı optimize etmek amacıyla müşterilerin özel proses gereksinimlerini karşılayan gaz yolu konfigürasyonlarını tasarlamak için müşterilerle yakın işbirliği içinde çalışır.

Sıkı Kalite Testi:

Vetek, kalitesini garanti altına almak için Porous SiC Vakum Chuck'ın her bir parçası üzerinde kapsamlı testler gerçekleştirir:

Oksidasyon Testi: SiC Vakum Aynası, gerçek oksidasyon sürecini simüle etmek için oksijensiz bir ortamda hızla 900°C'ye ısıtılır. Bundan önce taşıyıcı, optimum performansın sağlanması için 1100°C'de tavlanır.

Metal Kalıntı Testi: Kirlenmeyi önlemek için taşıyıcı, çöken metal yabancı maddelerin olup olmadığını tespit etmek amacıyla 1200°C gibi yüksek bir sıcaklıkta ısıtılır.

Vakum testi: Gözenekli SiC Vakum Aynası ile levhalı ve levhasız arasındaki basınç farkı ölçülerek vakum sızdırmazlık performansı sıkı bir şekilde test edilir. Basınç farkı ±2kPa dahilinde kontrol edilmelidir.