silisyum karbür seramik kaplama grafit ısıtıcı

VeTek Yarı İletken Silisyum Karbür Seramik Kaplama Grafit IsıtıcıGrafitin mükemmel elektriksel ve termal iletkenliğini, silikon karbon seramik kaplamanın yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci ve aşınma direnciyle birleştirir ve zorlu yarı iletken üretim ortamları için tasarlanmıştır. 

Silisyum karbür seramik kaplama grafit ısıtıcıesas olarak vakumlu kaplama (buharlaştırma) ekipmanlarında kullanılır ve yaygın olarak kullanılan yöntemler PCD (Plazma Kimyasal Kurutma) ve PVD'dir (Fiziksel buhar biriktirme). Bu ürün, yarı iletken endüstrisinde teknolojik ilerlemenin desteklenmesinde ve üretim verimliliğinin artırılmasında önemli bir rol oynamıştır.Sizinle daha fazla işbirliği yapmayı içtenlikle bekliyoruz.

Silisyum Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcının malzeme ve yapısal özellikleri aşağıdaki gibidir:

Grafit substrat: Grafit, yüksek ısı iletkenliği ve düşük ısıl genleşme katsayısı ile bilinir. Sıcaklık değişikliklerine hızlı tepki verebilir ve yüksek sıcaklıklarda yapısal stabiliteyi koruyabilir.

Silikon karbon seramik kaplama: SiC kaplama, kimyasal buhar biriktirme veya diğer ileri işlemler yoluyla grafit yüzeye eşit şekilde kaplanır. SiC, grafit alt tabakayı yüksek sıcaklıktaki oksidasyondan ve aşındırıcı ortamlardan koruyabilen son derece yüksek sertliğe ve kimyasal korozyon direncine sahiptir.

Silisyum Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcının özel ürün yapısal tasarımı,Bu ürünün yarı iletken işleme prosesinde yeri doldurulamaz ürün avantajları:

Verimli ve eşit ısıtma:

Isı iletkenliği: Grafitin yüksek ısı iletkenliği, ısıtıcının gerekli sıcaklığa hızlı bir şekilde ulaşmasını ve bu sıcaklığı korumasını sağlar ve SiC kaplama, ısının eşit dağılımını sağlar. Bu özellikle hızlı termal işlem (RTP) ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) gibi hassas sıcaklık kontrolü gerektiren yarı iletken işlemler için önemlidir.

Sıcaklık bütünlüğü: Eşit ısı dağılımı sayesinde Silisyum Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcı, termal stresi ve sıcaklık gradyanını etkili bir şekilde azaltabilir ve ısıtma işlemi boyunca yarı iletken levhaların tutarlılığını ve kalite stabilitesini sağlayabilir.

Korozyona karşı koruma:

Kimyasal direnç: SiC kaplamanın kimyasal korozyon direnci, ısıtıcının aşındırıcı gaz ve kimyasal ortamlarda stabil ve uzun süre çalışmasını sağlayarak grafit alt tabakanın zarar görmesini önler. Bu özellik özellikle kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve plazmayla güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD) gibi işlemlerde kritik öneme sahiptir.

Oksidasyon direnci: Yüksek sıcaklıklarda SiC kaplama, grafit alt tabakanın oksidasyonunu önleyebilir, ısıtıcının servis ömrünü uzatabilir ve ekipman bakımının sıklığını ve maliyetini azaltabilir.

Parçacık kirliliğini azaltın:

Yüzey stabilitesi: SiC kaplama sadece aşınmaya dayanıklı olmakla kalmaz, aynı zamanda termal döngü veya kimyasal reaksiyonlar nedeniyle parçacıkların malzeme yüzeyinden düşmesini de önler, böylece yarı iletken üretimi sırasında oluşabilecek parçacık kontaminasyonu riskini azaltır ve yüksek temizliğe sahip bir proses ortamı sağlar.

Proses güvenilirliğini ve verimliliğini artırın:

Uzun ömürlü tasarım: Grafitin mekanik mukavemeti ve SiC kaplamanın aşınma direncinin birleşimi nedeniyle, Silisyum Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcı, zorlu proses koşulları altında uzun süre yüksek verimli çalışmayı sürdürerek ekipmanın genel güvenilirliğini önemli ölçüde artırabilir.

Verimli enerji kullanımı: Grafitin yüksek termal iletkenliği ve SiC kaplamanın yüksek sıcaklık stabilitesi, ısıtıcının enerji tüketimini azaltırken sıcaklık kontrol doğruluğunu artırmasını sağlar, böylece yarı iletken üretiminin genel verimliliğini artırır.

Temel fiziksel özellikleriSilisyum Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcı:

VeTek Yarı İletkenSilisyum Karbür Seramik Kaplama Grafit Isıtıcımağazalar:

Yarı iletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış:

/diğer-süreç