Gözenekli SiC Vakum Chuck

Çin'de profesyonel bir Gözenekli SiC Vakumlu Ayna üreticisi ve tedarikçisi olan Vetek Semiconductor'ın Gözenekli SiC Vakumlu Aynası, özellikle CVD ve PECVD süreçleri söz konusu olduğunda, yarı iletken üretim ekipmanlarının temel bileşenlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Vetek Semiconductor, yüksek performanslı Gözenekli SiC Vakumlu Chuck'ın üretimi ve tedarikinde uzmanlaşmıştır. Daha fazla sorunuza hoş geldiniz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Vetek Yarı İletken Gözenekli SiC Vakumlu Ayna esas olarak mükemmel performansa sahip bir seramik malzeme olan silisyum karbürden (SiC) oluşur. Gözenekli SiC Vakum Chuck, yarı iletken işleme sürecinde levha desteği ve sabitleme rolünü oynayabilir. Bu ürün, düzgün bir emme sağlayarak, levhanın bükülmesini ve deformasyonunu etkili bir şekilde önleyerek levha ile ayna arasındaki yakın uyumu sağlayabilir, böylece işlem sırasında akışın düzlüğünü sağlar. Ek olarak, silisyum karbürün yüksek sıcaklık direnci, aynanın stabilitesini sağlayabilir ve termal genleşme nedeniyle levhanın düşmesini önleyebilir. Daha fazla danışmak hoş geldiniz.

Elektronik alanında Gözenekli SiC Vakumlu Ayna, lazer kesim, güç cihazları, fotovoltaik modüller ve güç elektroniği bileşenlerinin imalatı için yarı iletken malzeme olarak kullanılabilir. Yüksek ısı iletkenliği ve yüksek sıcaklık dayanımı, onu elektronik cihazlar için ideal bir malzeme haline getirir. Optoelektronik alanında Gözenekli SiC Vakum Aynası, lazerler, LED ambalaj malzemeleri ve güneş pilleri gibi optoelektronik cihazların üretiminde kullanılabilir. Mükemmel optik özellikleri ve korozyon direnci, cihazın performansını ve stabilitesini artırmaya yardımcı olur.

Vetek Semiconductor şunları sağlayabilir::

1. Temizlik: SiC taşıyıcının işlenmesi, kazınması, temizlenmesi ve son tesliminden sonra, tüm yabancı maddelerin yakılması için 1200 derecede 1,5 saat temperlenmesi ve ardından vakum torbalarına paketlenmesi gerekir.

2. Ürün düzlüğü: Gofreti yerleştirmeden önce, hızlı iletim sırasında taşıyıcının uçup gitmesini önlemek için ekipman üzerine yerleştirildiğinde -60kpa'nın üzerinde olmalıdır. Gofretin yerleştirilmesinden sonra -70kpa'nın üzerinde olması gerekir. Yüksüz sıcaklık -50kpa'nın altındaysa makine uyarı vermeye devam edecek ve çalışamayacaktır. Bu nedenle sırtın düzlüğü çok önemlidir.

3. Gaz yolu tasarımı: Müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilmiştir.

Müşteri testinin 3 aşaması:

1. Oksidasyon testi: oksijen yok (müşteri hızla 900 dereceye kadar ısınır, bu nedenle ürünün 1100 derecede tavlanması gerekir).

2. Metal kalıntı testi: Hızlı bir şekilde 1200 dereceye kadar ısıtılır, levhayı kirletecek hiçbir metal yabancı madde açığa çıkmaz.

3. Vakum testi: Gofretli ve Gofretsiz basınç arasındaki fark +2ka (emme kuvveti) dahilindedir.