VeTek yarı iletken, yarı iletken endüstrisine yönelik Tantal Karbür Kaplama malzemelerinin lider üreticisidir. Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD tantal karbür kaplama parçaları, SiC kristal büyütme için sinterlenmiş TaC kaplama parçaları veya yarı iletken epitaksi işlemi yer alır. ISO9001'i geçen VeTek Semiconductor, kalite konusunda iyi bir kontrole sahiptir. VeTek Semiconductor, sürekli olarak tekrarlanan teknolojilerin araştırılması ve geliştirilmesi yoluyla Tantal Karbür Kaplama endüstrisinde yenilikçi olmaya kendini adamıştır.
Ana ürünlerTantal Karbür kaplama deflektör halkası, TaC kaplı saptırma halkası, TaC kaplı yarım ay parçalar, Tantal Karbür Kaplamalı Gezegensel Dönme Diski (Aixtron G10), TaC Kaplamalı Pota; TaC Kaplamalı Halkalar; TaC Kaplamalı Gözenekli Grafit; Tantal Karbür Kaplama Grafit Tutucu; TaC Kaplamalı Kılavuz Halkası; TaC Tantal Karbür Kaplamalı Plaka; TaC Kaplı Gofret Süseptör; TaC Kaplama Halkası; TaC Kaplama Grafit Kapak; TaC Kaplamalı Parçavb., saflık 5 ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.
TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt katmanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur. Avantajı aşağıdaki resimde gösterilmektedir:
Tantal karbür (TaC) kaplama, 3880°C'ye kadar yüksek erime noktası, mükemmel mekanik mukavemeti, sertliği ve termal şoklara karşı direnci nedeniyle dikkat çekmiş olup, bu da onu daha yüksek sıcaklık gereksinimleri olan bileşik yarı iletken epitaksi işlemlerine çekici bir alternatif haline getirmektedir. Aixtron MOCVD sistemi ve LPE SiC epitaksi prosesi gibi. Ayrıca PVT metodu SiC kristal büyütme prosesinde de geniş bir uygulamaya sahiptir.
●Sıcaklık kararlılığı
●Ultra yüksek saflık
●H2, NH3, SiH4,Si'ye karşı direnç
●Termal stoğa karşı direnç
●Grafitte güçlü yapışma
●Uyumlu kaplama kapsamı
● 750 mm çapa kadar boyut(Çin'de bu boyuta ulaşan tek üretici)
● Endüktif ısıtma tutucusu
● Dirençli ısıtma elemanı
● Isı kalkanı
TaC kaplamanın fiziksel özellikleri | |
Yoğunluk | 14,3 (g/cm³) |
Spesifik emisyon | 0.3 |
Termal genleşme katsayısı | 6.3 10-6/K |
Sertlik (HK) | 2000 Hong Kong |
Rezistans | 1×10-5Ohm*cm |
Termal stabilite | <2500°C |
Grafit boyutu değişiklikleri | -10~-20um |
Kaplama kalınlığı | ≥20um tipik değer (35um±10um) |
Öğe | Atom yüzdesi | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Ortalama | |
CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Onlara | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor, Çin'in önde gelen TaC Kaplamalı Üç Yapraklı Halka üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır TaC ve SiC kaplama konusunda uzmanlaştık. Ürünlerimiz korozyon direncine ve yüksek mukavemete sahiptir. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, Çin'in önde gelen Tantal Karbür Kaplamalı Ayna üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır TaC kaplama konusunda uzmanız. Ürünlerimiz yüksek saflığa ve 2000°C'ye kadar yüksek sıcaklık direncine sahiptir. Uzun vadeli çözümünüz olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz. Çin'deki ortağı.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, Çin'in önde gelen Tantal Karbür Kaplamalı Kapak üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır TaC ve SiC kaplama konusunda uzmanlaştık. Ürünlerimiz korozyon direncine ve yüksek mukavemete sahiptir. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, uzun yıllardır gelişmiş malzemeler konusunda uzmanlaşmış, Çin'de özelleştirilmiş Ultra Saf Grafit Alt Yarı Ay'ın lider tedarikçisidir. Ultra Saf Grafit Alt Yarım Ayımız, mükemmel performans sağlayan SiC epitaksiyel ekipmanı için özel olarak tasarlanmıştır. Ultra saf ithal grafitten yapılmış olup güvenilirlik ve dayanıklılık sunar. Yüksek kaliteli Ultra Saf Grafit Alt Yarımayı ilk elden keşfetmek için Çin'deki fabrikamızı ziyaret edin.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, 20 yılı aşkın bir süredir gelişmiş malzemeler konusunda uzmanlaşmış, Çin'de özelleştirilmiş Üst Yarım Ay Parçası SiC kaplamanın lider tedarikçisidir. VeTek Yarı İletken Üst Yarım Ay Parçası SiC kaplamalı, SiC epitaksiyel ekipmanı için özel olarak tasarlanmıştır ve reaksiyon odasında çok önemli bir bileşen olarak hizmet eder. Ultra saf, yarı iletken dereceli grafitten yapılmış olup mükemmel performans sağlar. Sizi Çin'deki fabrikamızı ziyaret etmeye davet ediyoruz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, Çin'in önde gelen özelleştirilmiş Silisyum Karbür Epitaksi Gofret Taşıyıcı tedarikçisidir. 20 yılı aşkın bir süredir gelişmiş malzeme konusunda uzmanlaştık. SiC substratını taşımak ve SiC epitaksiyel reaktörde SiC epitaksi katmanını büyütmek için bir Silikon Karbür Epitaksi Gofret Taşıyıcı sunuyoruz. Bu Silisyum Karbür Epitaksi Gofret Taşıyıcı, yarım ay parçasının, yüksek sıcaklık direncinin, oksidasyon direncinin, aşınma direncinin önemli bir SiC kaplı parçasıdır. Çin'deki fabrikamızı ziyaret etmenizi bekliyoruz.
Devamını okuTalep Gönder