VeTek Semiconductor, 20 yılı aşkın bir süredir gelişmiş malzemeler konusunda uzmanlaşmış, Çin'de özelleştirilmiş Üst Yarım Ay Parçası SiC kaplamanın lider tedarikçisidir. VeTek Yarı İletken Üst Yarım Ay Parçası SiC kaplamalı, SiC epitaksiyel ekipmanı için özel olarak tasarlanmıştır ve reaksiyon odasında çok önemli bir bileşen olarak hizmet eder. Ultra saf, yarı iletken dereceli grafitten yapılmış olup mükemmel performans sağlar. Sizi Çin'deki fabrikamızı ziyaret etmeye davet ediyoruz.
Profesyonel üretici olarak size yüksek kaliteli Üst Yarım Ay Kısmı SiC kaplamalı ürünler sunmak istiyoruz.
VeTek Yarı İletken Üst Yarım Ay Parçası SiC kaplamalı, SiC epitaksiyel odası için özel olarak tasarlanmıştır. Geniş bir uygulama yelpazesine sahiptirler ve çeşitli ekipman modelleriyle uyumludurlar.
Uygulama Senaryosu:
VeTek Semiconductor olarak, SiC kaplamalı yüksek kaliteli Üst Yarımay Parçası üretiminde uzmanız. SiC ve TaC kaplamalı ürünlerimiz, SiC epitaksiyel odalar için özel olarak tasarlanmıştır ve farklı ekipman modelleriyle geniş uyumluluk sunar.
VeTek Yarı İletken Üst Yarım Ay Kısmı SiC kaplı, SiC epitaksiyel odasında bileşen görevi görür. Yabancı madde içeriğini 5 ppm'nin altında tutarak kontrollü sıcaklık koşulları ve levhalarla dolaylı temas sağlarlar.
Optimum epitaksiyel katman kalitesini sağlamak için kalınlık ve katkı konsantrasyonu tekdüzeliği gibi kritik parametreleri dikkatle izliyoruz. Değerlendirmemiz, en iyi ürün kalitesini elde etmek için film kalınlığı, taşıyıcı konsantrasyonu, tekdüzelik ve yüzey pürüzlülüğü verilerinin analiz edilmesini içerir.
SiC kaplı VeTek Yarı İletken Üst Yarım Ay Parçası, LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH ve daha fazlası dahil olmak üzere çeşitli ekipman modelleriyle uyumludur.
Yüksek kaliteli SiC kaplamalı Üst Yarımay Parçamızı keşfetmek için bugün bizimle iletişime geçin veya fabrikamızı ziyaret etmek için randevu alın.
CVD SiC kaplamanın temel fiziksel özellikleri | |
Mülk | Tipik değer |
Kristal yapı | FCC β fazı çok kristalli, esas olarak (111) yönelimli |
Yoğunluk | 3,21 g/cm³ |
Sertlik | 2500 Vickers sertliği (500g yük) |
Tane büyüklüğü | 2~10μm |
Kimyasal Saflık | %99,99995 |
Isı kapasitesi | 640 J·kg-1·K-1 |
Süblimleşme Sıcaklığı | 2700°C |
Bükülme mukavemeti | 415 MPa RT 4 noktalı |
Gencin modülü | 430 Gpa 4pt viraj, 1300°C |
Termal iletkenlik | 300W·m-1·K-1 |
Termal Genleşme (CTE) | 4,5×10-6K-1 |