Yarı İletken Seramik Nozul

Yarı iletken seramik nozul önemli bir rol oynarHDP-CVD süreciGaz akışını hassas bir şekilde kontrol etmek ve sağlamak için kullanılıryüksek kaliteli film biriktirme. Seramik nozül spreyi tutarlı ve kontrol edilebilir gaz akış hızları sağlamak üzere hassas bir şekilde tasarlanmıştır ve gaz reaksiyon odasına girdiğinde olası türbülansı en aza indirir.

Teknik Özellikler:

1.Malzeme Bileşimi:

VeTeK Yarı İletken Seramik kumlama nozulu tipik olarak alüminyum oksit (Al2O3) gibi Yarı İletken seramiklerden yapılır.silisyum karbür (SiC)veya zirkonyum oksit (ZrO2), bu malzemeler mükemmel özelliklere sahiptir:

    • yüksek termal stabilite (1000°C'nin üzerindeki sıcaklıklara dayanabilir)

    • kullanılan reaktif gazların neden olduğu korozyona karşı dirençCVD süreçleri(silan, amonyak gibi)

    • sürekli plazma maruziyetine karşı direnç.

2. Yapısal Tasarım:

    • Delik Boyutu: Yarı iletken seramik nozulun deliği, gaz akışının hassas kontrolünü sağlayacak şekilde bilimsel olarak tasarlanmıştır, bu da filmin homojenliğini ve kalınlığını etkiler.

    • Açılar ve Geometriler: Alt katman boyunca eşit gaz dağılımını sağlamak ve biriktirilen katmandaki kusurları en aza indirmek için hassas bir şekilde tasarlanmıştır.

Yarı iletken endüstrisinde, Yarı iletken seramik püskürtme nozulu öncelikle HDP-CVD sürecinde önemli bir rol oynar. Aynı zamanda, mikroelektronik üretimi için ince filmlerin biriktirilmesinde de kullanılırlar; böylece homojen ve kirletici madde içermeyen yüksek kaliteli yüzey kaplamaları sağlanır.

VeTeK Yarı İletken Seramik Nozul mağazaları: