VeTek yarı iletken, yarı iletken endüstrisine yönelik Tantal Karbür Kaplama malzemelerinin lider üreticisidir. Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD tantal karbür kaplama parçaları, SiC kristal büyütme için sinterlenmiş TaC kaplama parçaları veya yarı iletken epitaksi işlemi yer alır. ISO9001'i geçen VeTek Semiconductor, kalite konusunda iyi bir kontrole sahiptir. VeTek Semiconductor, sürekli olarak tekrarlanan teknolojilerin araştırılması ve geliştirilmesi yoluyla Tantal Karbür Kaplama endüstrisinde yenilikçi olmaya kendini adamıştır.
Ana ürünlerTantal Karbür kaplama deflektör halkası, TaC kaplı saptırma halkası, TaC kaplı yarım ay parçalar, Tantal Karbür Kaplamalı Gezegensel Dönme Diski (Aixtron G10), TaC Kaplamalı Pota; TaC Kaplamalı Halkalar; TaC Kaplamalı Gözenekli Grafit; Tantal Karbür Kaplama Grafit Tutucu; TaC Kaplamalı Kılavuz Halkası; TaC Tantal Karbür Kaplamalı Plaka; TaC Kaplı Gofret Süseptör; TaC Kaplama Halkası; TaC Kaplama Grafit Kapak; TaC Kaplamalı Parçavb., saflık 5 ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.
TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt katmanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur. Avantajı aşağıdaki resimde gösterilmektedir:
Tantal karbür (TaC) kaplama, 3880°C'ye kadar yüksek erime noktası, mükemmel mekanik mukavemeti, sertliği ve termal şoklara karşı direnci nedeniyle dikkat çekmiş olup, bu da onu daha yüksek sıcaklık gereksinimleri olan bileşik yarı iletken epitaksi işlemlerine çekici bir alternatif haline getirmektedir. Aixtron MOCVD sistemi ve LPE SiC epitaksi prosesi gibi. Ayrıca PVT metodu SiC kristal büyütme prosesinde de geniş bir uygulamaya sahiptir.
●Sıcaklık kararlılığı
●Ultra yüksek saflık
●H2, NH3, SiH4,Si'ye karşı direnç
●Termal stoğa karşı direnç
●Grafitte güçlü yapışma
●Uyumlu kaplama kapsamı
● 750 mm çapa kadar boyut(Çin'de bu boyuta ulaşan tek üretici)
● Endüktif ısıtma tutucusu
● Dirençli ısıtma elemanı
● Isı kalkanı
TaC kaplamanın fiziksel özellikleri | |
Yoğunluk | 14,3 (g/cm³) |
Spesifik emisyon | 0.3 |
Termal genleşme katsayısı | 6.3 10-6/K |
Sertlik (HK) | 2000 Hong Kong |
Rezistans | 1×10-5Ohm*cm |
Termal stabilite | <2500°C |
Grafit boyutu değişiklikleri | -10~-20um |
Kaplama kalınlığı | ≥20um tipik değer (35um±10um) |
Öğe | Atom yüzdesi | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Ortalama | |
CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Onlara | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
TaC Kaplamalı Gözenekli Grafit, VeTek Semiconductor tarafından sağlanan gelişmiş bir yarı iletken işleme malzemesidir. TaC Kaplamalı Gözenekli Grafit, gözenekli grafit ve tantal karbür (TaC) kaplamanın avantajlarını iyi termal iletkenlik ve gaz geçirgenliğiyle birleştirir. VeTek Semiconductor, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır ve Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, Çin'deki Tantal Karbür Kaplama Kapağının lider üreticisi ve yenilikçisidir. Yüksek saflıkta, yüksek sıcaklığa dayanıklı tantal karbür ürünler sağlamaya odaklanıyoruz. Tantal karbür kaplı kapağımız mükemmel performansa ve güvenilirliğe sahiptir ve malzemeleri aşırı yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda etkili bir şekilde koruyabilir. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor'ın TaC Kaplamalı Deflektör Halkası, SiC kristal büyüme süreçleri için tasarlanmış oldukça özel bir bileşendir. TaC kaplama, kristal büyüme süreci sırasında yüksek sıcaklıklar ve aşındırıcı ortamlarla başa çıkmak için mükemmel yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal inertlik sağlar. Bu, bileşenin istikrarlı performansını ve uzun ömrünü garanti ederek değiştirme sıklığını ve arıza süresini azaltır. Rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kararlıyız ve Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, Çin'de Kristal Büyüme için önde gelen Tantal Karbür Kaplamalı Boru üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır seramik kaplama konusunda uzmanız. Ürünlerimiz yüksek saflığa ve yüksek sıcaklık direncine sahiptir. Uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz. Çin'de.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, SiC Epitaksiyel Reaktör üreticisi ve Çin'deki yenilikçi için büyük ölçekli bir TaC Kaplamalı Halkadır. Uzun yıllardır TaC kaplama konusunda uzmanlaştık. Ürünlerimiz yüksek saflığa, yüksek stabiliteye, mükemmel korozyon direncine, yüksek bağ gücüne sahiptir. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, Çin'deki LPE üreticisi ve yenilikçisi için büyük ölçekli bir Tantal Karbür Kaplamalı Yarım Ay Parçasıdır. Uzun yıllardır TaC kaplama konusunda uzmanlaştık. Ürünlerimiz 2000 santigrat derecenin üzerindeki sıcaklıklara dayanabilir, sarf malzemelerinin ömrünü uzatır. Dört gözle bekliyoruz. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmak için.
Devamını okuTalep Gönder