VeTek Semiconductor, Çin'in önde gelen TaC Kaplamalı Üç Yapraklı Halka üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır TaC ve SiC kaplama konusunda uzmanlaştık. Ürünlerimiz korozyon direncine ve yüksek mukavemete sahiptir. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
VeTek Semiconductor, profesyonel bir Çin TaC Kaplamalı Üç Yapraklı Halka üreticisi ve tedarikçisidir. TaC Kaplamalı Üç Yapraklı Halka, bileşik yarı iletken için Aixtron G10 biriktirme sisteminde, GaN gücü ve RF için G10-GaN 150/200 mm yüksek verimli epitakside kullanılır. uygulamalar.
VeTek Yarı İletken TaC kaplama, korozyona dayanıklı bir kaplama, oksidasyona dayanıklı kaplama, aşınmaya dayanıklı kaplama olarak SiC'den daha iyi yüksek sıcaklık stabilitesine sahip yeni nesil yüksek sıcaklığa dayanıklı malzemedir, yaygın olarak kullanılan 2000 ° C'nin üzerindeki ortamlarda kullanılabilir. havacılık ultra yüksek sıcaklık sıcak uç parçaları, üçüncü nesil yarı iletken tek kristal büyümesi ve diğer alanlar.
1. Yüksek saflıkta, safsızlık içeriği <5ppm
2. Yüksek sıcaklık dayanımı, korozyon direnci, yüksek yoğunluk, yüksek yoğunluk
3. Yüksek sıcaklıkta amonyak, hidrojen, silan ve silikona karşı kimyasal olarak inerttir ve iyi bir termal stabiliteye sahiptir.
4. Termal şok direnci, çalışma döngüsünü hızlandırabilir
5. Güçlü grafit yapışması, uzun servis ömrü sağlar ve kaplamada tabakalaşma olmaz.
6. Sıkı boyut toleransları.
Ana uygulamalar:
1. Epitaksiyel büyüme
2. Tek kristal büyümesi
3. Yüksek sıcaklıkta korozyon sapması
4. Yüksek sıcaklığa ve oksidasyona dayanıklı nozul
5. Gaz türbini kanatları
TaC kaplamanın fiziksel özellikleri | |
Yoğunluk | 14,3 (g/cm³) |
Spesifik emisyon | 0.3 |
Termal genleşme katsayısı | 6,3 10-6/K |
Sertlik (HK) | 2000 Hong Kong |
Rezistans | 1×10-5Ohm*cm |
Termal kararlılık | <2500°C |
Grafit boyutu değişiklikleri | -10~-20um |
Kaplama kalınlığı | ≥20um tipik değer (35um±10um) |