Tantal Karbür Kaplama Desteği

VeTek Semiconductor'ın ana işleviTantal Karbür (TaC) KaplamaDestek, iyileştirmeyi amaçlamaktadır.ısı direnci, aşınma direnci ve korozyon direnciİşlemin doğruluğunu ve güvenilirliğini artırmak ve bileşenlerin hizmet ömrünü uzatmak için alt tabakanın bir Tantal Karbür Kaplama tabakası kaplanması. Yarı iletken işleme alanında kullanılan yüksek performanslı kaplama ürünüdür.

VeTek Semiconductor'ın Tantal Karbür Kaplama Desteği, elmastan sonra ikinci sırada yer alan yaklaşık 9~10 Mohs sertliğine sahiptir. Son derece güçlü bir aşınma direncine sahiptir ve işleme sırasında yüzey aşınmasına ve darbeye etkili bir şekilde direnebilir, böylece ekipman bileşenlerinin servis ömrünü etkili bir şekilde uzatabilir. Yaklaşık 3880°C'lik yüksek erime noktasıyla birlikte, aşınma direncini ve yüksek sıcaklığı arttırmak için genellikle destek yapılarının yüzey kaplamaları, ısıl işlem ekipmanları, yarı iletken ekipmandaki bölmeler veya contalar gibi yarı iletken ekipmanın temel bileşenlerini kaplamak için kullanılır. rezistans.

Tantal Karbürün yaklaşık 3880°C'lik son derece yüksek erime noktası nedeniyle, yarı iletken işleme proseslerindekimyasal buhar biriktirme (CVD)Vefiziksel buhar biriktirme (PVD)Güçlü yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal korozyon direncine sahip TaC Kaplama, ekipman bileşenlerini etkili bir şekilde koruyabilir ve aşırı ortamlarda korozyonu veya alt tabakanın hasar görmesini önleyebilir ve levha üretiminde yüksek sıcaklık ortamları için etkili koruma sağlayabilir. Bu özellik aynı zamanda VeTek Semiconductor'ın Tantal Karbür Kaplama Desteğinin aşındırma ve korozif işlemlerde sıklıkla kullanıldığını da belirlemektedir.

Tantal Karbür Kaplama Desteği ayrıca parçacık kirliliğini azaltma işlevine de sahiptir. Gofretin işlenmesi sırasında yüzey aşınması genellikle partikül kontaminasyonuna neden olur ve bu da gofretin ürün kalitesini etkiler. TaC Coating'in 9-10 Mohs'a yakın sertlikteki olağanüstü ürün özellikleri, bu aşınmayı etkili bir şekilde azaltabilir, böylece partikül oluşumunu azaltabilir. TaC Kaplamanın mükemmel termal iletkenliği (yaklaşık 21 W/m·K) ile birleştiğinde, yüksek sıcaklık koşullarında iyi termal iletkenliği koruyabilir, böylece levha üretiminin verimini ve tutarlılığını büyük ölçüde artırabilir.

VeTek Semiconductor'ın ana TaC Kaplama ürünleri şunları içerir:TaC Kaplama Isıtıcısı, CVD TaC Kaplama Potası, TaC Kaplama Rotasyon TutucusuVeTaC Kaplama Yedek Parçavb. ve özelleştirilmiş ürün hizmetlerini destekler. VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için mükemmel ürünler ve teknik çözümler sunmaya kendini adamıştır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle umuyoruz.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TaC) kaplama:

CVD TaC kaplamanın temel fiziksel özellikleri：