TaC Kaplama Yedek Parça

VeTek Semiconductor, Çin'de TaC Kaplama Plakası ve diğer TaC Kaplama yedek parçalarının profesyonel bir üreticisidir. TaC Kaplama şu anda esas olarak silisyum karbür tek kristal büyütme (PVT yöntemi), epitaksiyel disk (silisyum karbür epitaksi, LED epitaksi dahil) vb. işlemlerde kullanılmaktadır. TaC Kaplama Plakasının iyi uzun vadeli stabilitesi ile birlikte VeTek Semiconductor TaC Kaplama Plakası, TaC Kaplama yedek parçaları için referans noktası haline geldi. Uzun vadeli ortağımız olmanızı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

VeTek Yarı İletkenTaC Kaplama Plakasıyaygın olarak kullanılan özel bir malzemedir.yarı iletkenüretim süreci. Yüksek sertliği ve aşınma direnci, yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, düşük sürtünme katsayısı ve iyi ısı iletkenliği ile birlikte TaC Kaplama Plakası, yarı iletken işlemenin birçok bağlantısında yeri doldurulamaz bir rol oynar.

Genel olarak uygulamalarTaC kaplı plakalaryarı iletken işlemede aşağıdaki gibidir:

CVD/ALD büyüme substratı: TaC kaplı plakaların yüksek sıcaklık direnci, kimyasal stabilitesi ve düşük sürtünme katsayısı, onları ideal CVD/ALD yetiştirme substratları haline getirir. Filmin tekdüzeliğini ve yoğunluğunu sağlamak için istikrarlı bir büyüme ortamı sağlayabilir.

Aşındırma maskesi plakası: TaC kaplı plakaların yüksek sertliği ve korozyon direnci, alttaki filmi koruyan aşındırma maskesi plakaları gibi plazma dağlama gibi yüksek enerjili işlemlere dayanmalarını sağlar.

CMP parlatma pedi: TaC kaplı plakaların aşınma direnci ve düşük sürtünme katsayısı, onları filmin yüzeyindeki parçacıkları ve kusurları etkili bir şekilde giderebilen CMP parlatma pedleri için ideal malzemeler haline getirir.

Yüksek sıcaklık fırın tüpü: TaC kaplı plakaların yüksek sıcaklık dayanımı ve korozyon direnci, bunların yüksek sıcaklıkta tavlama, difüzyon ve diğer işlemler için yüksek sıcaklık fırınlarında fırın tüpü olarak kullanılmasına olanak sağlar.

Ürün özellikleriyle birlikteTaC Kaplama Plakası, bu ürünün cihaz performansını iyileştirmede, ekipman ömrünü uzatmada ve üretim verimliliğini artırmada yeri doldurulamaz bir anahtar rol oynadığını belirler.

Profesyonel bir üretici olarakSiC epi alıcısında GaN, Gözenekli GrafitVeTaC Kaplama PlakasıVeTek Semiconductor, Çin'de her zaman özelleştirilmiş ürün hizmetleri sağlama konusunda ısrar ediyor ve sektöre en üst teknoloji ve ürün çözümlerini sağlamaya kararlıdır. Daha fazla danışmanızı içtenlikle bekliyoruz.

CVD TAC KAPLAMA Teknik Parametreler：