TaC Kaplama Döndürme Plakası

VeTek Semiconductor'ın TaC kaplama Döndürme Plakası, LPE EPI sistemlerinde, Aixtron sistemlerinde, Nuflare sistemlerinde, TEL CVD sistemlerinde, VEECO sistemlerinde, TSI'de yaygın olarak kullanılan yüksek saflıkta bir bileşime, 5 ppm'den daha az yabancı madde içeriğine ve yoğun ve tekdüze bir yapıya sahiptir. sistemler.

Mükemmel mekanik özellikler:

Mükemmel aşınma direnci ile 2300HV'ye kadar kaplama sertliği.

Kaplama ile alt tabaka arasındaki yapışma güçlüdür ve düşmesi veya soyulması kolay değildir.

Kaplama, yüksek sıcaklıkta hala iyi yapısal stabiliteyi koruyabilir.

Mükemmel korozyon direnci:

TaC malzemesinin kendisi mükemmel kimyasal stabiliteye ve korozyon direncine sahiptir.

VeTek yarı iletken kaplamaları çeşitli agresif gaz ortamlarında iyi performans gösterir.

Ekipmanın iç bileşenlerini korozyon hasarından etkili bir şekilde koruyabilir.

Yüksek yüzey kalitesi:

VeTek yarı iletken, istenen kaplamayı üretmek için hassas bir kaplama işlemi kullanır.

Düşük yüzey pürüzlülüğü parçacık birikimini ve birikmesini azaltmaya yardımcı olur.

Kaplama tutarlılığı iyidir:

VeTek Semiconductor, partiler arasında tutarlı performans sağlamak için bir ses kalitesi kontrol sistemine sahiptir.

Kaplama kalınlığı eşit olarak dağılmıştır ve belirgin yerel kusurlar yoktur.

Mükemmel pratik uygulama performansı:

VeTek yarı iletkeninin TaC kaplaması, yurtiçinde ve yurtdışında birçok tanınmış epitaksiyel ekipman üreticisinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

TaC Kaplamalı Döndürme Plakasının Ürün Fiziksel parametresi: