Yüksek Saflıkta SiC Konsol Kürek

VeTek Semiconductor, Çin'deki Yüksek Saflıkta SiC Konsol Paddle'ın lider üreticisi ve yenilikçisidir. Yüksek Saflıkta SiC Konsol Kanatları, yarı iletken difüzyon fırınlarında levha aktarma veya yükleme platformları olarak yaygın olarak kullanılır. VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kendini adamıştır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Yüksek Saflıkta SiC Konsol Paddle, yarı iletken işleme ekipmanlarında kullanılan önemli bir bileşendir. Ürün yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) malzemeden yapılmıştır. Yüksek saflık, yüksek termal kararlılık ve korozyon direnci gibi mükemmel özellikleriyle birleştiğinde, levha aktarımı, destek ve yüksek sıcaklıkta işleme gibi işlemlerde yaygın olarak kullanılır ve işlem doğruluğunu ve ürün kalitesini sağlamak için güvenilir garanti sağlar.

Genel olarak Yüksek Saflıkta SiC Konsol Paddle, yarı iletken işleme sürecinde aşağıdaki belirli rolleri oynar:

Gofret transferi: Yüksek Saflıkta SiC Konsol Paddle, genellikle yüksek sıcaklıktaki difüzyon veya oksidasyon fırınlarında levha transfer cihazı olarak kullanılır. Yüksek sertliği, onu aşınmaya dayanıklı hale getirir ve uzun süreli kullanım sırasında deforme olmasının kolay olmamasını sağlar ve transfer işlemi sırasında levhanın doğru konumda kalmasını sağlayabilir. Yüksek sıcaklık ve korozyon direnci ile birlikte, yüksek sıcaklıktaki ortamlarda, gofretleri herhangi bir kirlenmeye veya hasara neden olmadan fırın borusunun içine ve dışına güvenli bir şekilde aktarabilir.

Gofret desteği: SiC malzemesi düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir; bu, sıcaklık değiştiğinde boyutunun daha az değiştiği anlamına gelir, bu da süreçte hassas kontrolün korunmasına yardımcı olur. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) veya fiziksel buhar biriktirme (PVD) işlemlerinde, SiC Konsol Paddle, biriktirme işlemi sırasında levhanın sabit ve düz kalmasını sağlamak için levhayı desteklemek ve sabitlemek için kullanılır, böylece filmin tekdüzeliği ve kalitesi artar. .

Yüksek sıcaklık proseslerinin uygulanması: SiC Konsol Paddle mükemmel termal stabiliteye sahiptir ve 1600°C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir. Bu nedenle bu ürün yüksek sıcaklıkta tavlama, oksidasyon, difüzyon ve diğer işlemlerde yaygın olarak kullanılmaktadır.

Yüksek Saflıkta SiC Konsol Paddle'ın temel fiziksel özellikleri: