VeTek Semiconductor'ın benzersiz karbür kaplamaları, zorlu yarı iletken ve kompozit yarı iletken malzemelerin işlenmesi için SiC Epitaksi Prosesinde grafit parçalar için üstün koruma sağlar. Sonuç olarak, grafit bileşen ömrünün uzatılması, reaksiyon stokiyometrisinin korunması, safsızlıkların epitaksiye geçişinin engellenmesi ve kristal büyüme uygulamaları elde edilir ve sonuçta verim ve kalite artar.
Tantal karbür (TaC) kaplamalarımız, yüksek sıcaklıklardaki (2200°C'ye kadar) kritik fırın ve reaktör bileşenlerini sıcak amonyak, hidrojen, silikon buharları ve erimiş metallerden korur. VeTek Semiconductor, özelleştirilmiş gereksinimlerinizi karşılamak için geniş bir yelpazede grafit işleme ve ölçüm yeteneklerine sahiptir; bu nedenle, sizin ve özel uygulamanız için doğru çözümü tasarlamaya hazır uzman mühendislerden oluşan ekibimizle ücretli bir kaplama veya tam hizmet sunabiliriz. .
Bileşik yarı iletken kristaller
VeTek Semiconductor, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel TaC kaplamalar sağlayabilir. VeTek Semiconductor'ın endüstri lideri kaplama işlemi sayesinde TaC kaplama, yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal direnç elde edebilir, böylece kristal TaC/GaN) ve EPI katmanlarının ürün kalitesini iyileştirebilir ve kritik reaktör bileşenlerinin ömrünü uzatabilir.
Isı izolatörleri
Potalar, tohum tutucular, deflektörler ve filtreler dahil SiC, GaN ve AlN kristal büyütme bileşenleri. Dirençli ısıtma elemanları, nozüller, koruma halkaları ve lehimleme armatürleri dahil endüstriyel montajlar, levha taşıyıcıları, uydu tepsileri, duş başlıkları, kapaklar ve kaideler dahil GaN ve SiC epitaksiyel CVD reaktör bileşenleri, MOCVD bileşenleri.
LED (Işık Yayan Diyot) Gofret Taşıyıcı
ALD(Yarı İletken) Alıcı
EPI Reseptörü (SiC Epitaksi Süreci)
TaC kaplı Uydu Süseptör TaC Kaplama Suseptör ve Halka TaC Kaplama parçaları TaC Kaplamalı Halfmoon Parçaları
SiC | TaC | |
Ana Özellikler | Ultra yüksek saflık, Mükemmel Plazma direnci | Mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesi (yüksek sıcaklık proses uyumu) |
Saflık | >%99,9999 | >%99,9999 |
Yoğunluk (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Sertlik (kg/mm2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Direnç [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Isı iletkenliği (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Termal genleşme katsayısı (10-6/°C) | 4.5-5 | 6.3 |
Başvuru | Yarı İletken Ekipman Seramik aparatı (Odak Halkası, Duş Başlığı, Sahte Gofret) | SiC Tek kristal büyütme, Epi, UV LED Ekipman parçaları |
Çin'deki Tantal Karbür Halka ürünlerinin gelişmiş üreticisi ve üreticisi olan VeTek Yarı İletken Tantal Karbür Halka, son derece yüksek sertliğe, aşınma direncine, yüksek sıcaklık direncine ve kimyasal stabiliteye sahiptir ve yarı iletken üretim alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle CVD, PVD, iyon implantasyon işlemi, aşındırma işlemi ve levha işleme ve taşıma işlemlerinde yarı iletken işleme ve imalatının vazgeçilmez bir ürünüdür. Daha fazla danışmanızı sabırsızlıkla bekliyorum.
Devamını okuTalep GönderÇin'deki profesyonel bir Tantal Karbür Kaplama Desteği ürün üreticisi ve fabrikası olan VeTek Yarı İletken Tantal Karbür Kaplama Desteği, genellikle yarı iletken ekipmandaki yapısal bileşenlerin veya destek bileşenlerinin yüzey kaplaması için, özellikle de yarı iletken üretim süreçlerindeki temel ekipman bileşenlerinin yüzey koruması için kullanılır. CVD ve PVD. Daha fazla istişarenize hoş geldiniz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, Çin'deki Tantal Karbür Kılavuz Halkası ürünlerinin profesyonel üreticisi ve lideridir. Tantal Karbür (TaC) Kılavuz Halkamız, yarı iletken işleme ekipmanlarında, özellikle CVD, PVD, aşındırma ve difüzyon gibi yüksek sıcaklıkta ve oldukça aşındırıcı ortamlarda yaygın olarak kullanılan tantal karbürden yapılmış yüksek performanslı bir halka bileşenidir. VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kendini adamıştır ve sorularınızı memnuniyetle karşılar.
Devamını okuTalep GönderÇin'de TaC Kaplama Rotasyon Süseptör ürünlerinin profesyonel üreticisi, yenilikçisi ve lideri olarak. VeTek Yarı İletken TaC Kaplama Döndürme Süseptörü, düzgün malzeme birikimi ve verimli reaksiyon sağlamak üzere levhaları desteklemek ve döndürmek için genellikle kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve moleküler ışın epitaksi (MBE) ekipmanına kurulur. Yarı iletken işlemede önemli bir bileşendir. Daha fazla istişarenize hoş geldiniz.
Devamını okuTalep GönderVeTek Semiconductor, Çin'deki CVD TaC Kaplama Pota ürünlerinin profesyonel üreticisi ve lideridir. CVD TaC Kaplama Pota, tantal karbon (TaC) kaplamaya dayanmaktadır. Tantal karbon kaplama, ısı direncini ve korozyon direncini arttırmak için potanın yüzeyinde kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi yoluyla eşit şekilde kaplanır. Yüksek sıcaklıktaki aşırı ortamlarda özel olarak kullanılan bir malzeme aracıdır. Daha fazla istişarenize hoş geldiniz.
Devamını okuTalep GönderÇin'de profesyonel bir CVD TaC Kaplama Gofret Taşıyıcı ürün üreticisi ve fabrikası olan VeTek Yarı İletken CVD TaC Kaplama Gofret Taşıyıcı, yarı iletken üretiminde yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlar için özel olarak tasarlanmış bir levha taşıma aracıdır. ve CVD TaC Kaplama Gofret Taşıyıcı, yüksek mekanik dayanıma, mükemmel korozyon direncine ve termal stabiliteye sahip olup, yüksek kaliteli yarı iletken cihazların üretimi için gerekli garantiyi sağlar. Daha fazla sorunuz memnuniyetle karşılanır.
Devamını okuTalep Gönder