Tantal Karbür Kılavuz Halkası

VeTek Semiconductor, Çin'deki Tantal Karbür Kılavuz Halkası ürünlerinin profesyonel üreticisi ve lideridir. Tantal Karbür (TaC) Kılavuz Halkamız, yarı iletken işleme ekipmanlarında, özellikle CVD, PVD, aşındırma ve difüzyon gibi yüksek sıcaklıkta ve oldukça aşındırıcı ortamlarda yaygın olarak kullanılan tantal karbürden yapılmış yüksek performanslı bir halka bileşenidir. VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün çözümleri sağlamaya kendini adamıştır ve sorularınızı memnuniyetle karşılar.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

VeTek Yarı İletkenTantal Karbür Kılavuz Ringden üretilmiştirgrafitVetantal karbür ile kaplanmıştırüstün performans ve uzun ömür sağlamak için her iki malzemenin en iyi özelliklerinden yararlanan bir kombinasyon.

The TaC kaplamaTantal Karbür Kılavuz Halkası üzerindeki kılavuz halka, genellikle hidrojen, argon ve nitrojen gibi gazları içeren SiC kristal büyütme fırınlarının reaktif atmosferlerinde kimyasal olarak inert kalmasını sağlar. Bu kimyasal eylemsizlik, büyüyen kristalin, son yarı iletken ürünlerin kusurlarına ve performansının düşmesine yol açabilecek herhangi bir kirlenmeyi önlemek için hayati öneme sahiptir. Ek olarak TaC kaplamanın sağladığı termal stabilite, Tantal Karbür Kaplama Kılavuz Halkasının gerekli yüksek sıcaklıklarda etkili bir şekilde çalışmasına olanak tanır.SiC kristal büyümesigenellikle 2000°C'yi aşar.

Ek olarak Tantal Karbür Kaplama Halkasındaki grafit ve TaC kombinasyonu, kristal büyütme fırınındaki termal yönetimi optimize eder. Grafitin yüksek termal iletkenliği, ısıyı verimli bir şekilde dağıtarak sıcak noktaları önler ve düzgün kristal büyümesini destekler. Bu arada Tantal Karbür kaplama, grafit çekirdeği doğrudan yüksek sıcaklıklara ve reaktif gazlara maruz kalmaktan koruyan bir termal bariyer görevi görür. Çekirdek ve kaplama malzemeleri arasındaki bu sinerji, yalnızca SiC kristal büyümesinin zorlu koşullarına dayanmakla kalmayıp aynı zamanda sürecin genel verimliliğini ve kalitesini de artıran bir kılavuz halkayla sonuçlanır.

VeTek Yarı İletken Tantal Karbürün mekanik özellikleri, Tantal Karbür Kaplama Halkasındaki aşınma ve yıpranmayı büyük ölçüde azaltır. Tekrarlanan doğası nedeniyle bu çok önemlidir.kristal büyüme sürecikılavuz halkasını sık sık termal döngülere ve mekanik gerilimlere maruz bırakır. Tantal Karbürün sertliği ve aşınma direnci, kılavuz halkanın uzun süreler boyunca yapısal bütünlüğünü ve hassas boyutlarını korumasını sağlayarak sık sık değiştirme ihtiyacını en aza indirir ve üretim sürecindeki aksama süresini azaltır.

VeTek Yarı İletken Tantal Karbür Kaplama Kılavuz Halkası, yarı iletken endüstrisindeki önemli bir bileşendir ve özellikle endüstrinin büyümesi için tasarlanmıştır.Silisyum Karbür kristalleri. Tasarımı, yüksek sıcaklık ve yüksek stresli ortamlarda olağanüstü performans sunmak için grafit ve tantal karbürün güçlü yönlerinden yararlanır. TaC kaplama, yüksek kaliteli SiC kristalleri üretmek için kritik öneme sahip olan kimyasal eylemsizliği, mekanik dayanıklılığı ve termal kararlılığı sağlar. Kılavuz halka, aşırı koşullar altında bütünlüğünü ve işlevselliğini koruyarak SiC kristallerinin verimli ve hatasız büyümesini destekleyerek yüksek güçlü ve yüksek frekanslı yarı iletken cihazların geliştirilmesine katkıda bulunur.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TaC) kaplama:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

TaC kaplamanın fiziksel özellikleri:

TaC kaplamanın fiziksel özellikleri
Yoğunluk	14,3 (g/cm³)
Spesifik emisyon	0.3
Termal genleşme katsayısı	6.3*10^-6/K
Sertlik (HK)	2000 Hong Kong
Rezistans	1×10^-5Ohm*cm
Termal stabilite	<2500°C
Grafit boyutu değişiklikleri	-10~-20um
Kaplama kalınlığı	≥20um tipik değer (35um±10um)