EPI alıcısı

VeTek Semiconductor'ın EPI tutucusu zorlu epitaksiyel ekipman uygulamaları için tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) kaplı grafit yapısı, mükemmel ısı direnci, tutarlı epitaksiyel katman kalınlığı ve direnci için tekdüze termal tekdüzelik ve uzun süreli kimyasal direnç sunar. Sizinle işbirliği yapmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

VeTek Semiconductor, profesyonel bir lider Çin EPI Alıcısı, ALD Gezegen Alıcısı, TaC Kaplamalı Grafit Alıcı üreticisidir.

VeTek Semiconductor'ın EPI tutucusu, yarı iletken üretim sürecinde epitaksiyel büyümenin önemli bir bileşenidir. Ana işlevi, yüksek kaliteli bir epitaksiyel katmanın gofret yüzeyinde eşit şekilde büyüyebilmesi için gofreti desteklemek ve ısıtmaktır.

VeTek Semiconductors'ın EPI tutucuları genellikle yüksek saflıkta grafitten yapılır ve bir silikon karbür (SiC) tabakasıyla kaplanır. Bu tasarımın aşağıdaki temel avantajları vardır:

Yüksek sıcaklık stabilitesi: EPI suseptörü, yüksek sıcaklıktaki bir ortamda stabil kalarak epitaksiyel katmanın düzgün bir şekilde büyümesini sağlar.

Korozyon direnci: SiC kaplama mükemmel korozyon direncine sahiptir ve kimyasal gazların aşınmasına karşı direnç göstererek tepsinin servis ömrünü uzatır.

Isı iletkenliği: SiC malzemenin yüksek ısı iletkenliği, ısıtma sırasında levhanın eşit sıcaklık dağılımını sağlar, böylece epitaksiyel katmanın kalitesini artırır.

Termal genleşme katsayısı eşleşmesi: SiC'nin termal genleşme katsayısı grafitinkine benzer olup, termal genleşme ve büzülme nedeniyle kaplamanın dökülmesi sorununu ortadan kaldırır.

Temel fiziksel özellikleriEPI alıcısı: