LPE PE2061S için SiC Kaplamalı Destek

VeTek Semiconductor, Çin'deki LPE PE2061S üreticisi ve yenilikçisi için önde gelen SiC Kaplamalı Destektir. Uzun yıllardır SiC kaplama malzemesi konusunda uzmanlaştık. LPE silikon epitaksi reaktörü için özel olarak tasarlanmış LPE PE2061S için SiC Kaplamalı Destek sunuyoruz. LPE PE2061S için bu SiC Kaplamalı Destek, namlu suseptörünün alt kısmıdır. 1600 santigrat derece yüksek sıcaklığa dayanabilir, grafit yedek parçanın ürün ömrünü uzatabilir. Bize soruşturma göndermekten memnuniyet duyarız.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

LPE PE2061S için yüksek kaliteli SiC Kaplamalı Destek, Çinli üretici VeTek Semiconductor tarafından sunulmaktadır. Doğrudan düşük fiyata yüksek kalitede LPE PE2061S için SiC Kaplamalı Desteği satın alın.

Silikon epitaksi ekipmanında LPE PE2061S için VeTeK Yarı İletken SiC Kaplamalı Destek, epitaksiyel büyüme süreci sırasında epitaksiyel levhaları (veya substratları) desteklemek ve tutmak için namlu tipi bir suseptör ile birlikte kullanılır.

Alt plaka esas olarak varil epitaksiyel fırınla birlikte kullanılır, varil epitaksiyel fırın daha büyük bir reaksiyon odasına ve düz epitaksiyel suseptörden daha yüksek üretim verimliliğine sahiptir.

Destek yuvarlak delikli bir tasarıma sahiptir ve öncelikle reaktör içindeki egzoz çıkışı için kullanılır.

LPE PE2061S için VeTeK Yarı İletken SiC Kaplamalı Destek, yüksek saflıkta, düzgün kaplamalı, yüksek sıcaklık stabilitesi, korozyon direnci, yüksek sertlik, mükemmel termal iletkenlik, düşük termal genleşme katsayısı ve kimyasal inertliğe sahip Sıvı Faz Epitaksi (LPE) Reaktör Sistemi içindir .

CVD SiC kaplamanın temel fiziksel özellikleri:

CVD SiC kaplamanın temel fiziksel özellikleri
Mülk	Tipik değer
Kristal yapı	FCC β fazı çok kristalli, esas olarak (111) yönelimli
Yoğunluk	3,21 g/cm³
Sertlik	2500 Vickers sertliği (500g yük)
Tane büyüklüğü	2~10μm
Kimyasal Saflık	%99,99995
Isı kapasitesi	640 J·kg-1·K-1
Süblimleşme Sıcaklığı	2700°C
Bükülme mukavemeti	415 MPa RT 4 noktalı
Gencin modülü	430 Gpa 4pt viraj, 1300°C
Termal iletkenlik	300W·m-1·K-1
Termal Genleşme (CTE)	4,5×10-6K-1