TaC Kaplama Planet Süseptör

Yarı iletken üretimi alanında TaC Kaplama Gezegensel Süseptör çok önemli bir rol oynamaktadır. Aixtron G5 sistemi gibi ekipmanlarda silisyum karbür (SiC) epitaksiyel katmanların büyütülmesinde yaygın olarak kullanılır. Ayrıca, SiC epitaksi için tantal karbür (TaC) kaplama biriktirmede bir dış disk olarak kullanıldığında, TaC Kaplama Gezegensel Süseptörü temel destek ve stabilite sağlar. Tantal karbür tabakasının düzgün bir şekilde birikmesini sağlayarak mükemmel yüzey morfolojisine ve istenen film kalınlığına sahip yüksek kaliteli epitaksiyel tabakaların oluşumuna katkıda bulunur. TaC kaplamanın kimyasal inertliği istenmeyen reaksiyonları ve kirlenmeyi önleyerek epitaksiyel katmanların bütünlüğünü korur ve üstün kalitelerini sağlar.

TaC kaplamanın olağanüstü termal iletkenliği, verimli ısı transferine olanak tanır, düzgün sıcaklık dağılımını destekler ve epitaksiyel büyüme süreci sırasında termal stresi en aza indirir. Bu, gelişmiş kristalografik özelliklere ve gelişmiş elektrik iletkenliğine sahip yüksek kaliteli SiC epitaksiyel katmanların üretilmesiyle sonuçlanır.

TaC Kaplama Planet Diskinin hassas boyutları ve sağlam yapısı, mevcut sistemlere entegrasyonu kolaylaştırarak kusursuz uyumluluk ve verimli çalışma sağlar. Güvenilir performansı ve yüksek kaliteli TaC kaplaması, SiC epitaksi proseslerinde tutarlı ve tek tip sonuçlara katkıda bulunur.

SiC epitakside olağanüstü performans ve güvenilirlik için VeTek Semiconductor ve TaC Kaplama Gezegen Diskimize güvenin. Sizi yarı iletken endüstrisindeki teknolojik gelişmelerin ön saflarında konumlandıran yenilikçi çözümlerimizin avantajlarını deneyimleyin.

Tedarik ettiğimiz TaC kaplama ve SiC kaplama yedek parçaları:

TaC Kaplama Planet Süseptörünün ürün parametresi:

Endüstriyel Zincir:

Üretim Atölyesi