TaC Kaplama Nedir?

TaC Kaplama (Tantal Karbür Kaplama), kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemiyle üretilen yüksek performanslı bir kaplama malzemesidir. TaC kaplamanın aşırı koşullar altındaki mükemmel özellikleri nedeniyle, yarı iletken üretim sürecinde, özellikle yüksek sıcaklık ve güçlü korozif ortam gerektiren ekipman ve bileşenlerde yaygın olarak kullanılmaktadır. TaC Kaplama genellikle alt tabakaları (grafit veya seramik gibi) yüksek sıcaklıktan, aşındırıcı gazlardan ve mekanik aşınmadan kaynaklanan hasarlardan korumak için kullanılır.

Ürün Özellikleri ve Avantajları

Son derece yüksek termal stabilite:

Özellik açıklaması: TaC kaplamanın erime noktası 3880°C'nin üzerindedir ve aşırı yüksek sıcaklık ortamında ayrışma veya deformasyon olmadan stabiliteyi koruyabilir.

Avantajı: Bu, onu CVD TaC Kaplama ve TaC Kaplamalı Süseptör gibi yüksek sıcaklıklı yarı iletken ekipmanlarda, özellikle Aixtron G5 ekipmanı gibi MOCVD reaktörlerindeki uygulamalar için vazgeçilmez bir malzeme haline getirir.

Mükemmel korozyon direnci:

Özellik açıklaması: TaC son derece güçlü bir kimyasal eylemsizliğe sahiptir ve klorürler ve florürler gibi aşındırıcı gazların erozyonuna etkili bir şekilde direnebilir.

Avantajları: Yüksek derecede korozif kimyasallar içeren yarı iletken proseslerde TaC Kaplama, özellikle Silikon Karbür Gofret Teknesi ve diğer önemli bileşenlerin uygulanmasında ekipman bileşenlerini kimyasal saldırılara karşı korur, servis ömrünü uzatır ve proses stabilitesini artırır.

Mükemmel mekanik sertlik:

Özellik açıklaması: TaC kaplamanın sertliği 9-10 Mohs kadar yüksektir, bu da onu mekanik aşınmaya ve yüksek sıcaklık stresine karşı dayanıklı kılar.

Avantajı: Yüksek sertlik özelliği, TaC Kaplamayı özellikle yüksek aşınma ve yüksek stresli ortamlarda kullanıma uygun hale getirerek zorlu koşullar altında ekipmanın uzun vadeli stabilitesini ve güvenilirliğini sağlar.

Düşük kimyasal reaktivite:

Özellik açıklaması: Kimyasal inertliği nedeniyle TaC Kaplama, yüksek sıcaklıktaki ortamlarda düşük reaktiviteyi koruyabilir ve reaktif gazlarla gereksiz kimyasal reaksiyonları önleyebilir.

Avantajı: Bu özellikle yarı iletken üretim prosesinde önemlidir çünkü proses ortamının saflığını ve malzemelerin yüksek kalitede birikmesini sağlar.

TaC Kaplamanın yarı iletken işlemedeki rolü

Temel ekipman bileşenlerinin korunması:

Fonksiyon açıklaması: TaC kaplama, aşırı koşullar altında çalışması gereken TaC Kaplamalı Süseptör gibi yarı iletken üretim ekipmanlarının temel bileşenlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. TaC ile kaplanarak bu bileşenler yüksek sıcaklık ve korozif gaz ortamlarında uzun süre hasar görmeden çalışabilmektedir.

Ekipman ömrünü uzatın:

İşlev açıklaması: Aixtron G5 gibi MOCVD ekipmanlarında TaC Kaplama, ekipman bileşenlerinin dayanıklılığını önemli ölçüde artırabilir ve korozyon ve aşınma nedeniyle ekipman bakımı ve değiştirme ihtiyacını azaltabilir.

Proses kararlılığını geliştirin:

İşlev açıklaması: Yarı iletken üretiminde TaC Kaplama, sabit bir yüksek sıcaklık ve kimyasal ortam sağlayarak biriktirme işleminin tek biçimli ve tutarlı olmasını sağlar. Bu özellikle silikon epitaksi ve galyum nitrür (GaN) gibi epitaksiyel büyüme süreçlerinde önemlidir.

Süreç verimliliğini artırın:

İşlev açıklaması: TaC Kaplama, ekipmanın yüzeyindeki kaplamayı optimize ederek sürecin genel verimliliğini artırabilir, kusur oranını azaltabilir ve ürün verimini artırabilir. Bu, yüksek hassasiyetli, yüksek saflıkta yarı iletken malzemelerin üretimi için kritik öneme sahiptir.

Yarı iletken işleme sırasında TaC Kaplamanın sergilediği yüksek termal stabilite, mükemmel korozyon direnci, mekanik sertlik ve düşük kimyasal reaktivite, onu yarı iletken üretim ekipmanı bileşenlerinin korunması için ideal bir seçim haline getirir. Yarı iletken endüstrisinin yüksek sıcaklık, yüksek saflık ve verimli üretim süreçlerine olan talebi artmaya devam ederken, TaC Kaplama, özellikle CVD TaC Kaplama, TaC Kaplamalı Susceptor ve Aixtron G5'i içeren ekipman ve işlemlerde geniş uygulama beklentilerine sahiptir.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD, yarı iletken endüstrisi için gelişmiş kaplama malzemelerinin lider sağlayıcısıdır. Şirketimiz endüstri için en ileri çözümleri geliştirmeye odaklanmaktadır.

Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD silisyum karbür (SiC) kaplamalar, tantal karbür (TaC) kaplamalar, toplu SiC, SiC tozları ve yüksek saflıkta SiC malzemeleri, SiC kaplı grafit tutucu, ön ısıtma halkaları, TaC kaplı saptırma halkası, yarım ay parçaları vb. yer alır. ., saflık 5 ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.

VeTek yarı iletken, yarı iletken endüstrisi için ileri teknoloji ve ürün geliştirme çözümleri geliştirmeye odaklanmaktadır.Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle umuyoruz.