VeTek Semiconductor, yatay fırın için silisyum karbür gofret teknesi için Çin'de profesyonel bir üretici ve tedarikçidir; Ar-Ge ve üretimde uzun yıllara dayanan deneyime sahiptir, kaliteyi iyi kontrol edebilir ve rekabetçi bir fiyat sunabilir. Yatay fırın için silisyum karbür gofret teknesini bizden satın alacağınızdan emin olabilirsiniz.
Yatay fırın için yüksek kaliteli Silisyum karbür gofret teknesi, Çinli üretici VeTek Semiconductor tarafından sunulmaktadır. Doğrudan fabrikadan düşük fiyata yüksek kalitede olan yatay fırın için Silisyum karbür gofret teknesi satın alın. Yatay fırın için silisyum karbür gofret teknesi, yüksek sıcaklık işlemleri sırasında gofretlerin yüklenmesi ve aktarılması için fırın tüplerinde kullanılır. Silisyum karbür malzemeler yüksek sıcaklık dayanımı, kimyasal korozyon direnci ve termal kararlılık gibi mükemmel özelliklerinden dolayı difüzyon, oksidasyon, CVD ve tavlama gibi çeşitli ısıl işlem proseslerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
1. Yüksek sertlik ve aşınma direnci: Silisyum karbür, elmastan sonra ikinci bir sertliğe sahiptir ve bu da onu aşınmaya karşı oldukça dirençli kılar. Bu, silisyum karbür teknelerin tekrarlanan mekanik darbelere ve sürtünmeye dayanmasını sağlayarak hizmet ömrünü uzatır.
2. Yüksek sıcaklık dayanımı: Silisyum karbürün erime noktası 2730°C olup, silisyum karbür tekneleri yüksek sıcaklıktaki ortamlar ve yüksek sıcaklıkta oksidasyon ve difüzyon gibi çeşitli yarı iletken üretim süreçleri için uygun hale getirir.
3. Düşük termal genleşme katsayısı: Silisyum karbür, yüksek sıcaklıklarda boyutsal stabilitenin korunmasına yardımcı olan, teknenin deformasyonunu önleyen ve levha işleme doğruluğunu etkileyen düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir.
4. İyi kimyasal stabilite: Silisyum karbür çoğu kimyasala karşı dayanıklıdır ve yaygın asit ve alkali çözeltilerle reaksiyona girmez, böylece levhaların güvenliğini ve temizliğini sağlar.
Yatay gofret teknesi, dikey gofret teknesi ve diğer özelleştirilmiş tekneler gibi farklı türde silisyum karbür gofret tekneleri üretebiliriz.
Yeniden Kristalize Silisyum Karbürün fiziksel özellikleri | |
Mülk | Tipik değer |
Çalışma sıcaklığı (°C) | 1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam) |
SiC içeriği | > %99,96 |
Ücretsiz Si içeriği | < %0,1 |
Kütle yoğunluğu | 2,60-2,70 g/cm3 |
Görünür gözeneklilik | < %16 |
Sıkıştırma mukavemeti | > 600MPa |
Soğuk bükülme mukavemeti | 80-90 MPa (20°C) |
Sıcak bükülme mukavemeti | 90-100 MPa (1400°C) |
Termal genleşme @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Isı iletkenliği @1200°C | 23 W/m•K |
Elastik modülü | 240 GPa |
Termal şok direnci | Son derece iyi |
Yatay fırınlar için silisyum karbür levha teknesi, yarı iletken ve fotovoltaik endüstrilerinde geniş uygulama alanları bulur:
Gofret temizleme ve aşındırma
Difüzyon ve oksidasyon
Elektrokaplama ve gravür
Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP)
Isı tedavisi
Gofret aktarımı ve depolama