Aixtron MOCVD Reseptörü

Çin'de profesyonel bir Aixtron MOCVD Süseptör üreticisi ve tedarikçisi olan Vetek Semiconductor'ın Aixtron MOCVD Susceptor'u, özellikle MOCVD sürecini içeren, yarı iletken üretiminin ince film biriktirme sürecinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Vetek Semiconductor, yüksek performanslı Aixtron MOCVD Susceptor ürünlerini üretmeye ve tedarik etmeye odaklanmaktadır. Sorgunuza hoş geldiniz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Tarafından üretilen SuseptörlerVetek YarıiletkenGrafit substrat ve silisyum karbür (SiC) kaplama malzemesinden yapılmıştır. SiC malzemesinin daha yüksek aşınma direnci, korozyon direnci ve son derece yüksek sertliği göz önüne alındığında, zorlu proses ortamlarında kullanıma özellikle uygundur. Bu nedenle Vetek Semiconductor tarafından üretilen Süseptörler, yüksek sıcaklıktaki MOCVD proseslerinde ek yüzey işlemine gerek kalmadan doğrudan kullanılabilir.

Süseptörler, yarı iletken üretiminde, özellikle de ince film biriktirme işlemlerine yönelik MOCVD ekipmanlarında önemli bileşenlerdir. Ana rolüAixtron SiC AlıcısıMOCVD prosesinde yarı iletken levhaların taşınması, düzgün ısı dağılımı ve reaksiyon ortamı sağlanarak ince filmlerin düzgün ve kaliteli birikmesini sağlamak, bu sayede yüksek kaliteli ince film üretimi elde etmektir.

Aixtron MOCVD Reseptörügenellikle biriktirme işlemi sırasında levhanın stabilitesini sağlamak için yarı iletken levhaların tabanını desteklemek ve sabitlemek için kullanılır. Aynı zamanda Aixtron MOCVD Susceptor'un yüzey kaplaması, termal olarak oldukça iletken bir malzeme olan silikon karbürden (SiC) yapılmıştır. SiC kaplama, levhanın yüzeyinde eşit sıcaklık sağlar ve yüksek kaliteli filmler elde etmek için eşit ısıtma şarttır.

Üstelik,Aixtron MOCVD ReseptörüÜrettiğimiz malzemeler optimize edilmiş malzeme tasarımı yoluyla reaktif gazların akışını ve dağıtımını kontrol etmede daha büyük bir rol oynar. Düzgün film birikimi elde etmek için girdap akımlarından ve sıcaklık değişimlerinden kaçının.

Daha da önemlisi, MOCVD prosesinde silisyum karbür (SiC) kaplama malzemesi korozyon direncine sahiptir, dolayısıylaVetek Yarıiletken'SAixtron MOCVD ReseptörüAyrıca yüksek sıcaklıklara ve aşındırıcı gazlara da dayanabilir.

Temel fiziksel özellikleriSIC KAPLAMA: