Çin Katı Silisyum Karbür Üretici, Tedarikçi, Fabrika

VeTek Yarı İletken Katı Silisyum Karbür, plazma aşındırma ekipmanında önemli bir seramik bileşendir, katı silisyum karbür(CVD silisyum karbür) aşındırma ekipmanındaki parçalar şunları içerir:odaklama halkaları, gaz duş başlığı, tepsi, kenar halkaları vb. Katı silisyum karbürün (CVD silisyum karbür) klor ve flor içeren aşındırma gazlarına karşı düşük reaktivitesi ve iletkenliği nedeniyle, plazma aşındırma ekipmanı odaklama halkaları ve diğerleri için ideal bir malzemedir. bileşenler.

Örneğin, odak halkası, halka içinden geçen plazmayı odaklamak için halkaya bir voltaj uygulanarak, levhanın dışına yerleştirilen ve levha ile doğrudan temas halinde olan önemli bir parçadır, böylece plazmanın levha üzerinde odaklanarak tekdüzeliği geliştirilir. işleme. Geleneksel odak halkası silikondan yapılmıştır veyakuvarsOrtak bir odak halkası malzemesi olarak iletken silikon, neredeyse silikon levhaların iletkenliğine yakındır, ancak flor içeren plazmada zayıf aşındırma direnci eksikliği vardır, aşındırma makinesi parçaları malzemeleri genellikle bir süre kullanılır, ciddi olacaktır Korozyon olgusu, üretim verimliliğini ciddi şekilde azaltır.

Skatı SiC Odak HalkasıÇalışma Prensibi：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ve Tabanlı Odaklama Halkası ve CVD SiC Odaklama Halkasının Karşılaştırılması:

Ve Tabanlı Odaklama Halkası ve CVD SiC Odaklama Halkasının Karşılaştırılması
Öğe	Ve	CVD SiC
Yoğunluk (g/cm³)	2.33	3.21
Bant aralığı (eV)	1.12	2.3
Isı iletkenliği (W/cm°)	1.5	5
CTE (x10^-6/°C)	2.6	4
Elastik modül (GPa)	150	440
Sertlik (GPa)	11.4	24.5
Aşınma ve korozyona karşı direnç	Fakir	Harika

VeTek Semiconductor, yarı iletken ekipmanlar için SiC odaklama halkaları gibi gelişmiş katı silisyum karbür (CVD silisyum karbür) parçalar sunar. Katı silikon karbür odaklama halkalarımız, mekanik mukavemet, kimyasal direnç, termal iletkenlik, yüksek sıcaklık dayanıklılığı ve iyon aşındırma direnci açısından geleneksel silikondan daha iyi performans gösterir.

VeC odaklama halkalarımızın temel özellikleri şunları içerir::

Azaltılmış aşındırma oranları için yüksek yoğunluk.

Yüksek bant aralığı ile mükemmel yalıtım.

Yüksek ısı iletkenliği ve düşük ısıl genleşme katsayısı.

Üstün mekanik darbe direnci ve esneklik.

Yüksek sertlik, aşınma direnci ve korozyon direnci.

Kullanılarak üretilmiştirplazmayla güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD)Teknikleri sayesinde SiC odaklama halkalarımız, yarı iletken üretiminde dağlama işlemlerinin artan taleplerini karşılamaktadır. Özellikle yüksek plazma gücüne ve enerjiye dayanacak şekilde tasarlanmıştır.kapasitif olarak eşleşmiş plazma (CCP)sistemler.

VeTek Semiconductor'ın SiC odaklama halkaları, yarı iletken cihaz üretiminde olağanüstü performans ve güvenilirlik sağlar. Üstün kalite ve verimlilik için SiC bileşenlerimizi seçin.

View as

Katı SiC Dağlama Odaklama Halkası

VeTek Semiconductor, Çin'in önde gelen Katı SiC Aşındırma Odaklama Halkası üreticisi ve yenilikçisidir. Uzun yıllardır SiC malzemesi konusunda uzmanlaştık. Mükemmel termokimyasal stabilitesi, yüksek mekanik mukavemeti ve plazmaya direnci nedeniyle katı SiC, odaklama halkası malzemesi olarak seçilmiştir. erozyon.Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Devamını oku Talep Gönder

<1 2 3 >

Çin'de profesyonel bir Katı Silisyum Karbür üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız bulunmaktadır. Bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız varsa veya Çin malı gelişmiş ve dayanıklı Katı Silisyum Karbür satın almak istiyorsanız, bize mesaj bırakabilirsiniz.