Silisyum Karbür kaplı Epi tutucu

Yarı iletken epitaksi, gaz fazı, sıvı fazı veya moleküler ışın biriktirme gibi yöntemlerle bir substrat malzemesinin yüzeyinde spesifik bir kafes yapısına sahip ince bir filmin büyümesini ifade eder, böylece yeni büyütülmüş ince film katmanı (epitaksiyel katman) aşağıdaki özelliklere sahip olur: Substrat ile aynı veya benzer kafes yapısı ve yönelimi. 

Epitaksi teknolojisi, yarı iletken üretiminde, özellikle de yüksek performanslı cihazların üretiminde kullanılan tek kristal katmanlar, heteroyapılar ve kuantum yapıları gibi yüksek kaliteli ince filmlerin hazırlanmasında çok önemlidir.

Epi suseptör, epitaksiyel büyüme ekipmanında substratı desteklemek için kullanılan önemli bir bileşendir ve Silikon epitakside yaygın olarak kullanılır. Epitaksiyel kaidenin kalitesi ve performansı, epitaksiyel katmanın büyüme kalitesini doğrudan etkiler ve yarı iletken cihazların nihai performansında hayati bir rol oynar.

VeTek Semiconductor, CVD yöntemiyle SGL grafit yüzeyine SIC kaplama tabakası kaplayarak yüksek sıcaklık dayanımı, oksidasyon direnci, korozyon direnci ve termal homojenlik gibi özelliklere sahip SiC kaplı epi suseptör elde etti.

Tipik bir varil reaktöründe, SiC kaplı Epi tutucusu bir varil yapısına sahiptir. SiC kaplı Epi suseptörünün alt kısmı dönen mile bağlanır. Epitaksiyel büyüme süreci boyunca, saat yönünde ve saat yönünün tersine dönüşümlü rotasyonu sürdürür. Reaksiyon gazı reaksiyon odasına ağızlık yoluyla girer, böylece gaz akışı reaksiyon odasında oldukça düzgün bir dağılım oluşturur ve son olarak düzgün bir epitaksiyel katman büyümesi oluşturur.

SiC kaplı grafitin kütle değişimi ile oksidasyon süresi arasındaki ilişki

Yayınlanan çalışmaların sonuçları, 1400°C ve 1600°C'de SiC kaplı grafitin kütlesinin çok az arttığını göstermektedir. Yani SiC kaplı grafit güçlü bir antioksidan kapasiteye sahiptir. Bu nedenle SiC kaplı Epi tutucu çoğu epitaksiyel fırında uzun süre çalışabilir. Daha fazla gereksiniminiz veya özelleştirilmiş ihtiyaçlarınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçin. En iyi kalitede SiC kaplı Epi susceptor çözümlerini sunmaya kararlıyız.

CVD SiC kaplamanın temel fiziksel özellikleri

VeTek Yarı İletkenSilisyum Karbür kaplı Epi tutucu mağazaları