Tantal Karbür Kaplama Nedir?

Tantal karbür (TaC) seramik malzemesi 3880 °C'ye kadar erime noktasına sahiptir ve yüksek erime noktasına ve iyi kimyasal stabiliteye sahip bir bileşiktir. Yüksek sıcaklık ortamlarında istikrarlı performansı koruyabilir. Ek olarak, yüksek sıcaklık direnci, kimyasal korozyon direnci ve karbon malzemelerle iyi kimyasal ve mekanik uyumluluğu da onu ideal bir grafit alt tabaka koruyucu kaplama malzemesi haline getirir. 

Tantal karbür kaplama, zorlu kullanım ortamlarında grafit bileşenlerini sıcak amonyak, hidrojen, silikon buharı ve erimiş metalin etkilerinden etkili bir şekilde koruyabilir, grafit bileşenlerinin hizmet ömrünü önemli ölçüde uzatır ve grafitteki yabancı maddelerin geçişini bastırarak kalitesini garanti eder.epitaksiyelVekristal büyümesi.

Şekil 1. Yaygın Tantal Karbür Kaplamalı Bileşenler

Kimyasal buhar biriktirme (CVD), grafit yüzeylerde TaC kaplamaları üretmek için en olgun ve en uygun yöntemdir.

Sırasıyla karbon ve tantal kaynakları olarak TaCl5 ve Propilen ve taşıyıcı gaz olarak argon kullanılarak, yüksek sıcaklıkta buharlaştırılmış TaCl5 buharı reaksiyon odasına verilir. Hedef sıcaklık ve basınçta, öncü malzeme buharı grafit yüzeyine adsorbe olur ve karbon ve tantal kaynaklarının ayrışması ve kombinasyonu gibi bir dizi karmaşık kimyasal reaksiyonun yanı sıra difüzyon ve desorpsiyon gibi bir dizi yüzey reaksiyonundan geçer. öncüllerin yan ürünleri. Son olarak, grafitin yüzeyinde, grafiti aşırı çevre koşullarında sabit bir varoluştan koruyan ve grafit malzemelerin uygulama senaryolarını önemli ölçüde genişleten yoğun bir koruyucu tabaka oluşturulur.

Şekil 2.Kimyasal buhar biriktirme (CVD) proses prensibi

VeTek Yarı İletkenesas olarak tantal karbür ürünleri sağlar: TaC kılavuz halkası, TaC kaplı üç yapraklı halka, TaC kaplama potası, TaC kaplama gözenekli grafit yaygın olarak SiC kristal büyüme prosesinde kullanılır; TaC Kaplamalı Gözenekli Grafit, TaC Kaplamalı Kılavuz Halkası, TaC Kaplamalı Grafit Gofret Taşıyıcı, TaC kaplama tutucuları, planet tutucu, TaC kaplı uydu tutucusu ve bu tantal karbür kaplama ürünleri yaygın olarak kullanılmaktadır.SiC epitaksi süreciVeSiC Tek Kristal Büyüme Süreci.

Şekil 3.VeTek Semiconductor'ın En Popüler Tantal Karbür Kaplama Ürünleri